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1、车间安全培训2009/10/22培训内容Ⅰ.车间简介Ⅱ.进入车间的劳保穿戴Ⅲ.防护用品Ⅳ.安全操作Ⅰ.车间简介——洁净间激光粒子测试仪等级每立方米(每升)空气≥0.5每立方米(每升)空气中≥0.5微米尘粒数微米尘粒数100级≤35×100(3.5)---1000级≤35×1000(35)≤250(0.25)10000级≤35×10000(350)≤2500(2.5)100000级≤35×100000(3500)≤25000(25)车间洁净度硅片分选、单晶制绒上料车间洁净等级——10000级单晶制绒下料、多晶制
2、绒车间——1000级扩散上、下料车间——1000级扩散源瓶、炉管所在车间——10000级刻蚀车间——10000级PECVD、丝印车间——10000级注意:由更衣室进入生产车间、由万级间进入千级间必须经过风淋门耐酸碱橡安全防护用品胶手套自吸过滤式防毒面具防护眼镜耐酸碱C级防护服胶鞋化学吸附棉全面罩洗眼器Ⅳ.安全操作注意事项1.严禁裸手接触花篮、硅片;2.PVC手手套若接触了皮肤等油脂性物质,要及时更换;3.机械手运行过程中严禁碰触;4.不允许倚靠设备;5.设备运行过程中严禁打开设备安全门;6.不允许打开设备
3、的配电箱;7.未经设备人员允许,严禁拆卸设备;8.严格按照规范进行上下料及设备操作,避免由于误操作造成人身伤害;9.更换化学药液时必须按照要求穿戴劳保用品10.严禁裸手接触酸碱及不明液体,若皮肤粘到HF用六氟灵及时涂抹冲洗,再用大量水冲洗;若粘到硝酸、碱、硫酸等腐蚀性液体,立即涂抹敌腐灵,如果没有敌腐灵,硝酸和碱直接用大量清水冲洗;硫酸必须先将硫酸擦拭,再用大量清水冲洗;11.发生意外事件(例如停水、停电、停排风等)要及时上报当班班长及厂长12.车间发生火灾要按照逃生通道逃离现场
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