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1、中国激光第42卷第1期Vol.42,No.12015年1月CHINESEJOURNALOFLASERSJanuary,2015准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试1,21,211,2谢承科陈明杨宝喜黄惠杰1中国科学院上海光学精密机械研究所,上海2018002中国科学院大学,北京100049摘要在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准分子激光脉冲能量探测器；提出采用二
2、阶有源低通滤波电路对窄脉冲信号进行整形处理以降低后续信号处理的难度；搭建测试装置对所研制的能量探测器进行了性能测试。测试结果表明，能量探测器输出的脉冲信号时间参数的实测值与设计值的相对误差约为3%，且其响应时间满足4kHz高重频的应用要求；采用双光束比对法消除准分子激光单个脉冲能量波动对测试结果的影响，得到能量探测器的测量重复性为0.26%，在入射光束脉冲能量为0.1~1μJ的动态范围内具有良好线性，其线性拟合方程为V=0.59841E-0.01508，相应的线性相关系数R2=99.976%。测试结果证明二阶有源低通滤波电路可
3、以实现窄脉冲信号整形；设计的能量探测器具有良好的重复性和线性，可用于光刻机中高重频准分子激光单个脉冲能量的精确测量。关键词探测器;准分子激光;脉冲整形;重复性;线性度中图分类号TN247;TN248.2;TN721.5文献标识码Adoi:10.3788/CJL201542.0102006DevelopmentandPerformanceTestingofPulsedExcimerLaserEnergyDetector1,21,211,2XieChengkeChenMingYangBaoxiHuangHuijie1Shangha
4、iInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai201800,China2UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing100049,ChinaAbstractInstepandscanlithographictoolswhoselasersourcesareexcimerlasers,anenergydetectorisneededtomonitorexcimerlaserpulseenergyi
5、nreal-timeandaccuratelysoastorealizepreciseexposuredosecontrol.Anenergydetector,whichiscomposedbyfocusinglens,anintegrationrod,aspecialcrystal,afilter,aphotodiodeandasignalprocessingcircuit,isdesigned.Specially,thesecond-orderactivelow-passfilterisusedfornarrowpulse
6、shapingsoastoreducethedifficultyofthesignalprocessingcircuit.Also,anexperimentalsetupisdesignedtotestingtheperformancesoftheenergydetector.Theresultsshowthattherelativeerrorbetweenthemeasuredvalueandthedesignedvalueoftheshapedpulsefortheenergydetectorisabout3%,andth
7、eresponsetimeoftheenergydetectorcanmeettheapplicationofpulseenergymeasurementwithpulse′srepetitionrateupto4kHz.Secondly,withadouble-beamratiometricmethodwhichisusedtoremoveexcimerlaserpulseenergyfluctuation,theperformancesoftheenergydetectoraretested;theenergydetect
8、or′srepeatabilityis0.26%;withinadynamicrangeofpulseenergyfrom0.1μJto1μJperpulse,thelinearfitisV=0.59841E-0.01508andR2=99.976%.Experimental
