新一代麦克风_声传感器_的发展

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1、本期内容摘要流t侧.仪表现状和发展动向(待续)/蔡武昌/l自动。该仪器采用,软件设计了8031单片机与国外同类产,,、化仪表一1996年17(2)一l一6品相比增设了掉电保护定时开机及与上位微机通信首先简要阐述国内外流量仪表生产和销售概况,等功能。评述了国外流量仪表的标定技术和标准装置的发展动JTSG一工型集散式工控机系统的远程测控/刘玫⋯;,向接着重点介绍了国外正在重点发展的几类仪表和/自动化仪表一1996年17(2)一20一22一些新原理的流量仪表;最后介绍了150近年颁发和介绍一种用公共电话线网络进行远程通信的集散。制定国际标准动态式工控

2、机系统,阐述了该系统的硬件配置及远程通信.现场总线应用层模型/诸葛祥钻⋯,/自动化仪表软件编程讨论了集散式系统的一般工业网络及调制一,。1996年17(2;一6一9解调器的工作原理等问题现场总线是用于现场设备和中央控制室控制设备增,式光电编码器在自动侧试系统中的应用/张锦春、、、。多变量⋯/自动化仪表一,间的一种全数字双向多站的通信系统本1996年17(2)一23一24文提出了三个应用层模型。其中,FMS模型化以应用讨论了增量式光电编码器在自动测试系统中常用,,;在进程对象为基础的现场报文规范FAS模型中主的四倍频判向接口电路阐述了增量式编码器

3、的输出要研究了实时班场需要的三种通信模式;,为便于实信号和位置测量原理介绍了绝对位置测量电路及与,。。现提出了面向对象的现场总线应用层软件编制模型计算机的接口仪用直流直线电动机参数和特性分析/丁志刚l/自动集中供热网的橄机监侧系统/裴志强/自动化仪表.,一,化仪表一1996年17(2)一10一131996年17(2)一25一27首先介绍了仪用直流直线电动机的结构、工作原城市集中供热是利国利民的一项新兴事业。本文、,理衡量其性能好坏的主要技术参数接着重点介绍了在对供热工艺要求、选择适当仪表进行讨论的基础上,,最后对几个董要参数进。直流直线电动机的

4、动态特性介绍一套集中供热网的微机监测系统该系统经过二行了分析。个采暖周期的运行,在对三个民用区域调压供热站进旋转机械轴向力在线智能监测系统/卢灸采/自动化仪行全面监测中取得良好效果。,1表一1996年7(2)一14一17场效应管恒流源特性的分析研究/王士杰/自动化仪1996.1阐述了一套旋转机械轴向力在线智能监测系统硬表一年7(2)一34一37、。监测仪是以件软件的功能及其构成80C31单片机在对场效应管恒流源的温度特性及负载特性进行,能对大型机械设备的轴向力进行,为主体的微机系统一定深度的分析基础上得出串联场效应管恒流源有实时在线监测、趋势分

5、析和越限报警。较好负载特性及串联二极管可改善恒流源的温度特性用单片机实现的循环水浴温度程控器/梁庆华,刀自动的结论提出采用串联场效应管恒流源并采用二极管,化仪表一17(2)一17一20,1996年作温度补偿的方法可获得负载特性与温度特性均佳、介绍了循环水浴温度程控器的原理硬件组成和的性能。(2)查核电源和电路。按开阀时介质不流通情况下第(3)项进行2)、按开阀时介质不流通情况下第(〔3)项进(5、查核使用环境。。行按开阀时介质不流通情况下第(4飞项进行(3)查核使用的介质(6)查核使用方法或次数按。。开阀时介质不流通情况下第(2)项进行按开阀时

6、介质不流通情况下第(5)项进行’:199(4)拆开进行查核收稿日期污一。丁一26‘,1996,17(2)45自动代伏早雇同七电.Z。‘、,式发射极多昌堆探燕电.压电结式}‘气,才/图2硅压电和硅压阻麦克风.膜片组成。图2d是RSchelin等人研制的压阻0.0009mV/a。P式超微型麦克风的结构形式,膜片厚度为lpm,3.特点与发展趋势,lmmZ41,面积为的高浓度掺杂硼的硅片上面的(、压电麦克风由一块芯片制成避免了压,,n:个电阻厚度约60m的P型多晶硅510作为隔阻麦克风由两块芯片组成而产生的匹配问题且离层。、热氧化、离子刻蚀、淀积输人阻

7、抗高,缺点是噪声级较高。传感器采用掺杂、。,后多晶硅注人退火以及金属化等工艺加工制成‘乡压阻麦克风的特点是输出阻抗低但由于.3mm,,。整个麦克风的体积为义3mm义。3mm电硅膜片的内应力影响灵敏度较低.,。源电6V,O25mVa3)压电结麦克风具有较高的灵敏度压灵敏度0/P频率响应为。,IOOHz一skHz(二3dB):4压电和压阻麦克风虽然会随着压力传感.,。图Ze是EK欲vesten等人最近研制的用于器的改进而发展但研制和应用是有局限性的测量湍流流量的硅压阻麦克风,它的芯片长度为、ea四硅电容(Paeitive)麦克风,,4mm敏感区在芯

8、片的一端另一端与导电金属.,条相联接构成尺寸为1。。pm又10。。mXO4林m这是近年来研究成果最多的一种微型麦克。,,、、的小膜片这种排列方式减少气

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