1 . 膜厚仪操作说明1-30页

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1、(XULM-XYm.M9A(6.14))P.1螢光膜厚儀Fischerscope使用手冊機型﹕FischerscopeXULM-XYm(德國Fischer公司)(2006/6)(版本6.14)頁數1、儀器理想放置環境………………………………………………P.22、測試台簡介(包括電源開關及更換保險絲)…………………….P.23、電源開啟…………………………………………………………P.44、電腦開機…………………………………………………………P.55、定位………………………………………………………………P.56、選擇測試項

2、目……………………………………………………P.97、正常化(Norm)……………………………………………………P.108、測試步驟及樣品放置方向……………………………………….P.129、印表抬頭之編輯、更改………………………………………….P.1410、快速列印步驟…………………………………………………….P.1511、刪除讀值………………………………………………………….P.1712、測試時間之更改………………………………………………….P.1813、測試單位公制(um)或英制(u”)之選擇………………………..P

3、.1914、光譜分析………………………………………………………….P.2015、樣品顯像放大倍率……………………………………………….P.2116、中英文版軟體更換……………………………………………….P.2217、列印測試樣品之影像…………………………………………….P.2318、產品程式備份之製造與備份存回至電腦……………………….P.2519、電腦當機之排除………………………………………………….P.3020、電腦關機步驟…………………………………………………….P.3021、注意事項……………………………………

4、…………………….P.3222、輻射安全方面…………………………………………………….P.3223、電器安全方面…………………………………………………….P.3324、儀器和附件的維修……………………………………………….P.3325、常用元素符號、原子序、密度及合金之代表………………….P.3326、列表符號意義…………………………………………………….P.3427、列表文字意義…………………………………………………….P.3528、測試範圍A、單層B、合金比例及厚度………………….P.35C、雙層………………………

5、……………………..P.3629、StandardDeviation(S)標準差之計算公式及意義……………..P.3730、C.O.V.[%]變動率公式…………………………………………P.3831、影像不清、無法顯示之處理步驟……………………………….P.3932、底材修正步驟…………………………………………………….P.4133、複製……………………………………………………………….P.4434、附錄:如何重新安裝VideoCard影像擷取卡驅動程式………P.45(XULM-XYm.M9A(6.14))P.21、儀器

6、理想放置環境A、使用工作環境：1)溫度：10-25℃2)濕度：40~50%RH3)避免高溫、潮濕及酸氣腐蝕工作環境B、耗電量：5A(安培)2、測試台簡介可位移抬面X-Y：250×280mmX-光管：微小聚焦型(Mini-focus)測試孔徑(collimators)：共4組No.1圓型、直徑：0.10mm(4.0mils)No.2圓型、直徑：0.20mm(8.0mils)No.3正方型：0.05×0.05mm(2.0×2.0mils)No.4長方型：0.03×0.20mm(1.0×8.0mils)測試台左方圖示1.焦距

7、調整2.X光開關3.電源開關4.影像輸出5.RS-232系統連結接頭6.電源接頭(XULM-XYm.M9A(6.14))P.3測試台右方圖示1.X,Y-Tatle2.系統散熱進氣口過濾海綿測試台正面圖示1.量測鍵2.停止鍵3.高壓指示燈4.燈管指示燈5.閘門指示燈6.測試蓋未緊閉指示燈7.電源指示燈8.樣品測試口(XULM-XYm.M9A(6.14))P.4電源更換保險絲:保險絲位於電源座下，請用E型起子，打開保險絲座，換上同等安培數之保險絲即可。3、電源開啟*開啟電腦主機*開啟測試台(含：照明與高壓開關)*開啟印表機

8、(註：開機後，請預熱約30分鐘後，再行使用)(XULM-XYm.M9A(6.14))P.54、電腦開機1)啟動位於桌面上的FTM圖示FTMXLLM-XYm版本6.14移至確定(OK)位置，按滑鼠一下5、定位1)將定位片(Ag)置於測試台量測口,將焦距調整至清晰。(XULM-XYm.M9A(6.14))P.62)移至功能表一般(Ge