探讨洁净车间等级标准要求

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1、纯臻净化工程探讨洁净车间等级标准要求aircleanlinessclass洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净车间等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目

2、字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，最好的等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。净化等级一般分为100级、1000级、10000级、100000级，现在2010年版的GMP净化车间已经不用这个叫法了，

3、分为ABCD级别，分别相对应于98版的几个级别，通过检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌数、沉降均数评价净化级别，各个级别有不同的要求，净化等级分静态、动态两种。一、洁净车间的空气洁净度，应进行下列测试(一)空态、静态测试空态测试：洁净车间已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。静态测试：洁净车间净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。(二)动态测试洁净车间已处于正常生产状态下进行测试。洁净车间的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。二、空态、静态测

4、试(一)测试前的准备1、应对洁净车间及其净化空气调节系统进行彻底清洁。2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。(二)测试内容1、总送风量

5、、总回风量、新鲜空气量、排风量等;2、洁净车间压力值;3、层流洁净车间断面风速和气流流向;4、洁净工作区的洁净度;5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;6、洁净车间内噪声。(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：纯臻净化工程1、光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。l，000级-l0，000级：每次采样量大于或等于0.3升。100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净车间，宜采用大流量粒子计数器进

6、行测试;如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。2、采样注意事项：(1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。(2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。(3)采样管口的流速，宜与洁净车间断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。(4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。3、测点布置(l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米(2)层流洁净车间测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净车间测点仅布置在第一洁净工作区内。(3)乱流洁净车

7、间可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3--5个测点。4、数据整理(1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。(2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定：层流洁净车间取各测定点最大值，乱流洁净车间取各测点的平均值。(四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。二、洁净车间等级划分一般在洁净