Duraflow过滤膜在半导体废水回用中的应用

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1、Duraflow管式过滤膜在半导体废水回用上的应用唐亚新，许腾春【摘要】半导体废水污染物种类多，成分复杂，通常包括多种重金属废水，有机废水以及硅和氟等非金属废水，传统处理工艺占地面积较大，工艺复杂，处理效果不稳定等已经不能满足企业的发展要求。Duraflow根据半导体废水特点，进行合理的分流，然后应用DF系统进行处理，出水的效果稳定，自动化程度高，是半导体废水回用的最佳选择。【关键词】DF膜半导体废水回用【引言】半导体自从问世以来广泛的应用在各个领域，现代科技的发展总是离不开半导体，从电玩、手机到航空、航天，半导体的身影无处

2、不在的深入到人们生活的各个领域。我国是生产半导体的大国，我国的台湾更是在世界半导体行业占有重要地位。半导体的生产工艺要求高，涵盖光刻、精密切割和研磨等各种复杂工艺。生产半导体的过程会产生大量的废水，一个规模型的半导体厂每天的废水量可以在1万方。并且半导体生产具有使用的水质要求高，水量大，而排放水不容易处理，回用困难等特点。半导体废水含有各种过度性质的金属如硅、锗等，同时还含有较高含量的氟，及难以处理的较高浓度的COD。随着生活品质的逐步提高，政府对工业企业的要求也越来越高，节能减排也越来越普及，为了达到政府的要求，废水回用就

3、不得不提上了日程。在回用废水的同时，也要符合相应的排放标准，采用何种技术能达到这个要求是人们日益重视的问题。◆半导体废水半导体废水的传统处理方式废水处理的前处理及分流在整个的废水处理工程中起着不可缺或的作用。在半导体生产工艺所产生的废水中，DF膜重点处理的是如下两类废水：1)切割研磨废水2)酸碱废水Website：http://www.duraflow.com.cn/http://duraflow.b2b.hc360.comAddress：DuraflowCorporation120LumberLaneBuilding3,U

4、nit15,Tewksbury,MA.USA.0187cell：唐亚新：13928719980许腾春：13625299148进行相应的分类后就是对分类后的废水进行相应的处理过程，从传统的角度来讨论，基本上所有的处理过程都离不开最终沉淀的这个方式。我们用图谱对半导体的预处理及沉淀的过程做如下的描述：图一半导体废水传统处理工艺流程图PAC、碱PAM切割研磨集水池反应池絮凝池沉淀池排放池废水浓缩池脱水机酸碱废水集水池中和池气浮池中和池排放池◆传统工艺在处理半导体废水方面的特点传统工艺在处理半导体废水方面的特点：：：1)处理工艺比较

5、长，需要较大的占地面积，需要相当的劳动力从事废水的处理及操作。2)处理能力及负荷有限，当处理量增加时难以满足处理要求，唯一的做法就是新建池体设施以满足增容扩展的需要。3)处理排放只能满足一般要求或较低的排放标准，对于越来越高的排放要求难以适应。4)处理过程中PAM是必须添加的物质，而PAM的过量添加是制约废水回用的一个重要因素。5)SS的难以控制也是传统工艺难以适应废水回用的另一个因素。6)鉴于场地设施等原因，设备维护保养比较繁琐，较为耗费劳动力。半导体企业部分污染物排放标准如下表Website：http://www.dur

6、aflow.com.cn/http://duraflow.b2b.hc360.comAddress：DuraflowCorporation120LumberLaneBuilding3,Unit15,Tewksbury,MA.USA.0187cell：唐亚新：13928719980许腾春：13625299148表一半导体废水处理排放标准项目PHCODPFSSCu电导率mg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/Lus/cm排放标准6—9<100<1.5<10<70<0.5——◆Duraflow管式微滤膜的出现随着各种各样的回用设施的

7、出现，在上述的排放标准的基础上采用所谓的放流水或排放水的回用后，人们开始注意到了回用过程中出现的不同的问题，在应对这些问题的过程中不得不对回用这个看似简单的技术从新进行理解。以往人们认为排放出的水只要是清澈干净的就能够用相应的过滤设施进行过滤，然后再加上纯化系统脱盐即可。随着理解的加深，人们注意到排放废水的不确定性所导致的一系列处理过程的不确定性，最终使排放的废水看似清澈，其实很多的指标是不能满足回用要求的，这些基本性质的因素如SS、COD、SDI及电导率等都是影响回用至关重要的因素。人们也意识到当前通用的过滤设施的搭配，如

8、砂碳滤、缠绕式PP滤芯或蜂房式滤芯+超滤+反渗透脱盐，虽然整套工艺的产水质量较高，但存在维护更换频繁，清洗频率较高，反渗透随进水水质波动容易污堵、超滤膜断丝导致无法满足反渗透进水要求、及超滤膜对SS的承受能力有限的问题。为了应对回用过程中所出现的一系列问题，人们开始探索能达到持续、稳定回用