JEM2100F 操作说明书 JEM2100F Manual

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1、JEM-2100F/2200FS操作说明制作：北京东方捷欧技术服务站马宁一，开机（此步只能由实验室管理员操作）。1.合上配电柜中电镜主机的单相电源，同时合上循环水的三相电源。2.合上主机的稳压电源开关。3.合上主机电源柜上的电源开关。4.确认电子枪的模式转换器在COND模式（见图一）。（图一）5.按压主机控制台上的I键2、3秒钟后松开，RP开始动作，主机启动。6.打开TEM控制PC，首先等待PC显示器右下角的图标由未建立通讯状态转变为已建立通讯状态，这通常要等待5分钟，再等操作控制台上按键指示灯变亮后双击桌面上的打开TEM控制软件，确认StatusMonitor-System中各项显示

2、都为Running状态（如图二）。（图二）未建立通讯状态（图三）：如果发生这种情况，关闭软件确认通信建立后再打开。如果还不行，关闭计算机，然后再VMERESET，等1分钟再将PC打开，通信建立后打开软件。（图三）-67.确认电源柜上的60L，20LSIP真空档位选择器在X10Pa的位置，并且指针基本上是在左端基本到底的位置，如指针指示超过0.5X10-6Pa,请立即通知服务中心。（图四）8.确认真空符合要求后加高压（在COND模式，从100KV起加，参照长假期处理）备注：如无法正常开机，请检查下列各项：1，检查电源，包括电源柜中的主闸及电镜分开关是否正常，稳压电源是否在开启状态，以及主

3、机电源柜的空开是否在开启状态。2，打开StatusMonitor-Alarm，察看是否有变红的报警提示(一般会自动弹出此报警窗口，如图五)，如有请与服务中心联系。（图五）3，打开TEMCON软件后弹出下列窗口（图六）是由于过早打开软件造成，关闭软件后再次开启此问题就会解决（图六）二，插拔样品杆1，放入样品杆前，如当时EMSN是ON的状态不要关掉灯丝（热场的灯丝一般总保持在发射状态，所以无须关灯丝，这是与普通电镜的区别之处），同时更换不同的样品杆要在计算机里选择相应的型号。2，如果柱体是通过SIP抽的，请将150LSIP真空指示表放在KV档。3，样品杆抽真空时，如绿灯很快就亮不要马上将样

4、品杆插入，最好总的抽气时间不要少于5分钟，但也不要超过10分钟（注：有时绿灯很长时间不亮，可能是由于工作点漂移造成，并不是由于真空真的没有达到，此时需要电路上的调节，但电位的漂移通常是一个渐变的过程），长时间的通过油扩散泵给样品杆抽气会对样品造成污染，有条件的用户最好配备样品予抽室，不用的样品杆平时可放在里面长时间的抽。4，200KV电镜ACD是标准配置，强烈建议早上工作前先将液氮加好，这样有利于镜筒的真空卫生，对灯丝寿命、样品污染以及离子泵的寿命都有好处。5，样品杆刚插入COL时不要马上将V1打开，因为在插入样品杆的过程中多少会有一些泄露，即使插入后真空看上去很好，最好在插入后再等1

5、~2分钟开V1阀。-5-56，到真空度达到低于4x10PA时，打开V1阀。（最好低于2x10PA）7，样品观察。8，拔出样品杆之前，首先要关掉V1阀，但决不要关灯丝（热场的灯丝一般总保持在发射状态，所以无须关灯丝）。9，样品杆回零-点击HolderExchange。（如果不回零就拔会损坏样品杆，尤其是双倾台）（图七）直到出现下面的对话框，才可进行下步操作。（图八）10，如果柱体是通过SIP抽的，请将SIP真空指示表放在KV档。11，拔出样品杆到放气位置，放气后，拔出样品杆。备注：1)测角台是整个设备中机械部分最精密的部分，所以在插拔过程中一定不要使蛮力，否则会损坏测角台。在整个运动过程

6、中它应始终保持在轻松灵活的状态，如感吃力，决不可硬转，硬拔，要马上通知管理员或服务中心。2)样品杆在插入柱体的过程中，由于里面是负压，样品杆应是被吸入的，所以要拉住直到完全进入后才可松手。如此时感到涩，不是很顺利的被吸入，那么就要在样品杆的两个橡皮圈上涂抹白色的FOMBLIN真空脂（可用牙签挑上一些涂抹在橡皮圈上，不宜太多）。（图九）3)如样品杆长时间不能抽到绿灯亮，请检查橡皮圈是否有损伤，样品杆是否放置正确，橡皮圈上的真空脂是否干了，样品杆是否长期放在外面受潮，样品是否受潮。（如还不行请与服务中心联系）4)如有样品杆予抽机的最好将样品杆插在上面予抽，没有的用户在观察完样品后，最好将样

7、品取下再将样品杆插入到COL中以保持干燥。5)带有ACD装置的请在早上一上班就将液氮加好，但它加满后只能维持7~8个小时，所以最好在中午下班前再将它不充满，这样就可完全保证整个下午的工作了。用液氮后，下班前一定要用加热棒将ACD中的残余液氮烘烤出来，否则会由于液氮挥发完后原来吸附在冷阱上的脏东西快速挥发出来造成SIP的停机。三，日常加高压在EMSNON的状态（通常EMSN都是ON的状态）1，高压通常保持为160KV，点击DIALOGUE中的HI