多晶截断机改善建议

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1、多晶截断机相关改善建议硅片设备部审核：方迪山提案人：王文海目前，公司多晶截断机存在诸多问题，严重影响了生产效率。要解决这些问题，则需要各部门相互配合。2011年12月8日，经硅片设备部、生产部、技术部、品质部就多晶截断机一系列问题进行探讨研究后，一致认为锯条切割力下降引起的一连串问题。而锯条切割力下降的原因，有主观因素也有客观因素。客观存在的问题是不能改变的，但我们可以根据客观问题来从主观上做改变，以适应客观问题。主观上，部分操作人员违背目前品质部、技术部制定的工艺参数标准。如进给速率的选择超出了其参数可选范围。客观上，主要是多晶锭内含有高硬度的杂质，而目前工艺

2、参数是否科学合理的问题。如锯条使用是否有规范指导书；进给速率是否合理等。实际上，锯条的使用缺乏一个严格的管理制度（使用周期，使用记录跟踪）！主观与客观的矛盾现状经观察和调查发现1～13号机切边皮料、头杂料（或回炉锭）14～24号机切正常晶料（或回炉锭）80%左右的6005RZ轴承用于1～13#机70%左右的带轮（磨损、晃动）维修发生在1～13#机70%左右的主轴承（6310）损坏发生在1~13#机95%以上的断锯条发生在1～13#机报废的锯条（调查）：95%是有裂纹的30%是完全断裂的切正常晶棒进给速率：规定18～25mm/min实际有出现28～35mm/min

3、锯条使用周期：（正常锭）实际切割150～220刀，甚至更高（头杂边皮）实际是到切不动为止或是锯条断裂规定切割（正常锭）120～130刀（头杂边皮）20～30刀锯条使用不规范报废底线太低，存在巨大安全隐患主观违背主观违背调查发现通过技术部得知，多晶棒不同于单晶棒，多晶内部含有一定量的杂质，而有的杂质硬度很高，这对锯条的损害是不可避免的。客观上降低了锯条切割能力使其向后游走，从而加剧6005轴承、带轮的损坏等一系列问题。实际对比，切单晶几乎不用6005轴承切多晶实际用量超过150个/月（月计划为50个）轴承紧缺6005轴承作用：当切割力不足锯条向后走时，可以挡锯条防

4、止其向后跑出带轮防止切到导向器铁块上，造成卡锯条或崩断锯条所以，6005轴承作用是相当大的！锯条切割力不足引起的一系列问题新锯条汰旧后切头杂切割力下降锯条受压断锯条带轮、轴承过载损坏客观存在的主观人为提高进给速度造成的切歪晶棒卡锯条切裂6005RZ轴承带斜度挤压隐裂垂直挤压张力上升张力计损坏变频器报警或损坏变形因果关系图生产部：1.严格按要求使用锯条，并对锯条使用情况进行跟踪记录相关数据。技术部、品质部：1.制定锯条使用规范2.制定锯条使用跟踪情况表，并突击稽核设备部：根据以上情况及生产部提出的问题做相应的设备改善共同降低设备故障提高生产效益可行性建议一、付带轮

5、的改善1.根据锯条切割力不足引起的锯条向后跑并且始终有一个向后的力F的情况，我设备部将对付带轮进行改善，加装四块挡板或加工成台阶（见图一图二），其作用相当于6005RZ轴承，可以挡锯条，防止锯条跳出引起故障。主带轮付带轮锯条床台晶棒6005RZ轴承导向器F挡板床台进给方向设备改善方案（图一）2.生产部反应：带轮背面污泥无法清除，会卡锯轮。这是因为原装带轮是全实心面的（无开孔），机台又没有合理的空间用于清理作业。导致长期结垢卡死锯轮。改善方法：在实心面上开几个孔（见图二），以便于清除污垢。改善前改善后改善前后对比方案1方案2孔（φ80）台阶挡板（图二）3.带轮轴承

6、（6310）更换频繁，除了切割力不足引起张力过高导致轴承疲劳损坏之外，还有就是端盖密封方式有缺陷。其密封是采用密封胶密封，每次打胶可能没打好导致进水或胶太多漏进去等情况，引起轴承磨损和走处圆。现我设备准备在端盖上开槽，采用O型密封圈密封，以提高其密封性能，降低故障率。槽、O型圈改善前改善后O型圈可重复使用，密封胶只有一次性，此项改善能够节省一定费用。二.伸缩防护罩经常性损坏主要原因是，切割过程中含硅粉的污水浸到防护罩上，生产人员未及时清理又在其上面堆放晶块造成防护罩受力不平衡，左右行走不一致造成的损坏。另，机台上有个小缺点：排水口在防护罩之上，大量污水直排到防护

7、罩上。针对这一缺点，我设备部将对其进行必要的改善。1.生产人员要经常对防护罩进行清理2.设备部将对排水道进行加长，防止水直接流到防护罩上。（目前已在试用，见下图）改善前改善后加装的引水盒回流水引出的水流希望各部分积极配合，相互监督，共同营造一个良好的生产环境，从而降低生产成本提高效益！为了公司更是为了我们自己！谢谢！