磷吸杂改善产业化冶金多晶硅太阳电池性能

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1、分类号j!型UDC论文题目1012¨1046029密级——编号——磷吸杂改善产业化冶金多晶硅太阳电池性能专学2013年5月2日M．Tech．DissertationPHOSPHORUSGETTERINGIMPROVEMETALLURGICALPoLY_-SlLICONSOLARCELLPERFORMANCEOFINDUSTRIALIZA口IONGRADUATECANDIDATE：XUZHIHUSUPERVISOR：PROF．LIJIANSPECIAI』rY：PHYSICALELECTRONICSoBJ吧CT：ELECT

2、RONICTHINFILMMATERIALSCHOOLOFPHYSICALSCIENCEANDTECHNOLOGY，INNERMONGOLIAUNIVERSITY，HOHHOT，010021，P．R．CHINA2．MAY，2013原创性声明本人声明：所警交的：学位论文是本人在导u币的指导卜送行的研究i。作及耳叉得的研究成果。际本文已经注明引剐的内容匆?，论文甲不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得内蒙崔，i学及其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同：．ii作的同。盏对本研究所做的任俩贡献均已往

3、论文中作了明确的说明并表示谢意。靴论文作者繇悼艏撕虢一邋一目期：塑f≥!兰12日期：2111：!：尹在学期间研究成果使用承诺书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：内蒙古大学有权将学位论文的全部内容或部分保留并向国家有关机构、部门送交学位论文的复印件和磁盘，允许编入有关数据库进行检索也可以采用影印、缩印或其他复制手段保存、汇编学位论文。为保护学院和导师的知识产权，作者在学期间取得的研究成果属于内蒙古大学。作者今后使用涉及在学期间主要研究内容或研究成果，须征得内蒙古大学就读期间导师的同意；若用于发表

4、论文，版权单位必须署名为内蒙古大学方可投稿或公开发表。学位论文作者签名：名啦指导教师签名宦内蒙古大学硕士学位论文磷吸杂改善产业化冶金多晶硅太阳电池性能摘要针对冶金硅纯度较低的问题，采用短时间浓磷扩散吸杂工艺来提高原始冶金硅片的少子寿命。研究不同时间、温度、磷源流量吸杂对冶金硅片少子寿命的影响，并筛选其最佳工艺条件。用WT-1200少子寿命测试仪、RTS．4四探针测试仪、BACCINI电池分类检测系统、7-SCSpec太阳电池光谱性能测试仪对冶金硅电池的少子寿命、方块电阻、电阻率、电性能和量子效率等进行测试。实验结果给出

5、：去除硅片表面损伤后，经950。C、磷源流量300ml／min和30rain的短时间磷吸杂，使原始冶金硅裸片的少子寿命从1．1№提高到2us，提高了80．18％。磷吸杂后的冶金硅片表面平均方块电阻9Q／D、平均电阻率O．18Q·cm。将此项技术用于生产中，保持吸杂时间和温度不变，调整磷源流量至720ml／min，吸杂效果良好。小批量生产冶金硅电池时，将磷源流量增到800ml／min。制备的冶金硅电池的平均开路电压、短路电流、填充因子和转换效率比未吸杂的电池分别增加了0．16％、1．1％、0．27％和O．97％。电池的成

6、品率从42．5％提高到91％。较大批量生产电池时，将磷源流量调到1000ml／min，冶金硅电池的成品率达到80％。经磷吸杂的冶金硅电池片，光衰减从未吸杂时的0．18％降到0．106％。相应电池组件在光衰减后，平均功率增加了0．481612W。与常规化学法提纯的电池片相比，磷吸杂后冶金硅电池的外量子效率在短波范围内利用效果明显提高，电池的发射区质量明显得到改善。关键词：冶金硅；太阳电池；磷吸杂；少子寿命；电性能；光衰减内蒙古大学硕士学位论文PHOSPHORUSGETTERINGIN口ROVEM匝17ALLURGICAL

7、POLY．SILICONSOLARCELLPERFORMANCEOFINDUSTRIALIZATIONABSTRACTFormetallurgicalsiliconlowerpurity，ashorttimeconcentratedphosphorusdiffusiongetteringprocesswasutilizedtoimprovetheoriginalmetallurgicalsiliconminoritycarrierlifetime．Effectsoftime，temperatureandphosphor

8、ussourcefloweRerithe一‘‘ifetinofmetallurica’iliconstudiedto；etgeReringtheminoritycarrierlifetimeotmetallurgicalsiliconwereStUoleotogetoptimumconditions．Theminoritycarr