高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析

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1、“挑战杯”西安邮电大学高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性研究答辩人：杨锐强、卫怡、康颖通过以下图片我们能得出什么？1.酒后驾车这样生活真累2、环境污染3、煤矿安全图一消防队员处理泄露事故图二硫化氢有毒气体泄露4、气体泄漏本项目使用纳米材料薄膜，比表面积大，表面能高，具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。目录1、气敏传感器的简介2、本项目的研究意义以及研究目标3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺4、数据分析及总结5、未来前景展望1、气敏传感器的简介敏感元件传感元件非电量电参量电量传感器组成框图被测量气敏传感器的基本结构：转

2、换电路气敏传感器的基本原理：气敏薄膜基底气敏薄膜加热电极叉指电极气敏传感器的分类气敏传感器半导体气敏传感器催化燃烧式气敏传感器电化学气敏传感器热导池式气敏传感器磁性氧气传感器2、本项目的研究意义以及研究目标由于单个气敏器件对多种气体都有响应，我们对单个敏感器件的这一特点加以研究，制备出高灵敏度阵列气敏传感器。它不仅能克服单个气敏传感器的缺点，更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜在应用。半导体气敏传感器阵列（1）氧化高温氧化炉3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺（2）匀胶光刻胶氧化层涂胶机（3）光刻光刻机（4）刻蚀和除胶（5）掺杂硅晶片的蚀刻掩膜去除后叉指电极

3、掺杂（硼）（6）划片及印刷制备的薄膜激光切割机我们在制作好的硅片上涂抹特定的纳米材料薄膜，然后封装。制成我们所要的气敏传感器！涂膜前涂膜后纳米氧化锌的生长二氧化钛4、数据分析及总结ZnO气敏传感器V-G特性TiO2气敏传感器V-G特性工作总结根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。提出项目创新点1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电极和纳米气敏薄膜，有效

4、提高气体测量的准确性、响应速度和灵敏度。3、建立智能化的识别模式使之适应复杂环境中混合气体种类和含量测量。后期目标本项目初步得出阵列化的气敏传感器,能够对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续工作中我们准备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，对其进行更加完善的测试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更准确的信息。石墨烯5、未来前景展望本设计结合高性能气体传感器发展的需要和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民

5、经济有很大的应用价值，具有很大的现实意义。ThankyouforyoursupportUniversitystudentswishingtolearnahappylife