晶体硅太阳能电池中丝网印刷工艺的研究

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1、多事未交专业硕士学位论文晶体硅太阳能电池丝网印刷工艺的研究ThestudyonprocessofscreenprintingoncrystallinesiliconsolarSIIICOnsolarcell‘11。作者：胡子琦导师：赵谡玲北京交通大学2013年6月名7删／f(’＼学位论文版权使用授权书ltULILItLLILLIIIWIIIILIIIILLLLUlLLLIIIIIIIIIY2428639本学位论文作者完全了解北京交通大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权北京交通大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，提供阅览服务，并采用影印、缩印或扫描等复制手段

2、保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名：极}竹签字日期：PB年‘月矽日p翩签名勿帆签字日期：力f肄6月'侈盼中图分类号：TM914．4UDC：学校代码：10004密级：公开北京交通大学硕士学位论文晶体硅太阳能电池中丝网印刷工艺的研究Thestudyofprocessofscreenprintingoncrystallinesiliconsolarcell作者姓名：胡子琦导师姓名：赵谡玲学号：11125759职称：教授学位类别：工学学位级别：硕士学科专业：光学工程研究方向：半导体器件北京交

3、通大学2012年5月致谢本论文的工作是在我的导师赵谡玲教授的悉心指导下完成的，赵谡玲教授严谨的治学态度和科学的工作方法给了我极大的帮助和影响。在此衷心感谢两年来赵谡玲老师对我的关心和指导。徐征教授悉心指导我们完成了产线上科研工作，在学习上和生活上都给予了我很大的关心和帮助，在此向徐征老师表示衷心的谢意。张福俊教授、冀国蕊老师对于我的科研工作和论文都提出了许多的宝贵意见，在此表示衷心的感谢。在培养基地工作及撰写论文期间，康力文、管甜甜、罗滨、冯丽彬和贺强等同学对我论文中的实验研究工作给予了热情帮助，在此向他们表达我的感激之·I主I同0本论文是在在北京变通大学太阳能研究所和北京吉阳技术

4、股份有限公司光伏研究院完成的，北北京吉阳技术股份有限公司给我提供了良好的实验环境和实验条什。在工作中，感谢吉阳新能有有限公司天长基地的田玉华总工、郭玉林总工、田朋婵工艺员以及其他的工作人员在学习和工作当中给我的支持与帮助，让我十分难忘。最后也感谢我的家人他们的理解和支持使我能够在学校专心完成我的学业。中文摘要摘要：在工业化晶体硅太阳能电池工艺中，丝网印刷技术一直都是研究的重点。丝网印刷分为电极工艺和烧结工艺。电极工艺主要作用是电极的印刷，而烧结工艺则侧重于金属与半导体之间的欧姆接触问题。两项工艺对于电池片性能影响重大。对此，本文做了以下深入的研究：1．研究了背电场制备工艺对多晶硅电

5、池性能的影响。主要研究了背电场浆料的搅拌时间以及背电场湿重对于电池片电性能参数的影响，通过分析测试，使用相同的浆料其最佳搅拌时间为6小时，最佳背电场湿重为1．679。2．研究了正电极制备工艺对多晶硅电池性能的影响。首先研究了正电极印刷参数中的压力、印刷间隔对于栅线质量的影响，得出最佳压力为4．5kg(面板标示)，印刷间隔最佳在1．5mm'---,1．7mm；再次研究了印刷速度对于电池片的电性能影响，得出最佳速度范围为280mm／s，---300mm／s；然后研究了不同的浆料所制的电池片性能和正电极印刷过程中的工艺问题如断栅、粗线等影响，给出了指导性意见。3．研究了烧结工艺对多晶硅电

6、池性能的影响，首先研究了烧结曲线的选择问题，得出平台式烧结曲线较好；再次研究了烧结温区温度对于电池片的影响，得出烧结5温区以778℃、烧结6温区以930℃为佳；最后研究传送带速度对于电池片的影响，最佳传送速度为240in／min。4．研究了烧结工艺与其他工艺段匹配问题，主要研究了扩散工艺与烧结工艺的匹配问题，测试了不同方阻的电池片在常规工艺下的性能，之后调整烧结炉参数，给出不同方阻的电池片的烧结工艺的解决方案。关键字：晶体硅太阳能电池；工艺；丝网印刷；印刷参数；浆料；烧结炉；烧结曲线；温区；传送带；方阻；扩散工艺分类号：TM914．4ABSTRACTAbstractAroundth

7、eindustrializationcrystallinesiliconsolarcelltechnology,thescreen—printingtechnologyhasalwaysbeenthefocusofthestudy．Thescreenprintingisdividedintotheelectrodeprocessandsinteringprocess．Themainroleoftheelectrodeprocessistheprintingofthee