含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析

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1、2010年第17卷第6期化工生产与技术ChemicalProductionandTechnology·1·"!!!!!!"!!"氟化工!!!!!!"含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析（待续）陈鸿昌（全国无机氟化物协会，天津300131）摘要介绍了属于高端无机氟精细品的部分含氟特种气体及电子化学品氟气、六氟化硫、六氟化钨和五氟化碘等，这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域，普遍具有技术含量、产品附加值较高的特点，在国民经济中占有重要地位。叙述了产品性能、生产方法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。关键词含氟特种气体；含氟电子化学品；高端；竞争力中图分类号TQ1

2、24.3文献标识码CDOI10.3969/j.issn.1006-6829.2010.06.001较长时间以来，人们对我国的氟化工应该朝哪用来进行选择性氟化。氟气的溶解性差，反应一般个方向走不断地提出问题，也发表了众多的观点，大在气液两相表面进行；又因反应放热，所以在反应表多数人认为是要向国外看齐，要加快结构调整、加强面极易形成热点加速副反应的进行。为减少副反应，研发、引进人才等等。实际上尽管差距不小，氟化工通常用惰性气体（如氮气或氩气）来稀释氟气，以使还是正在向精细、高端、优质并具有高附加值方向发氟化反应容易控制且提高氟化选择性。这种稀释氟展着。气商业化以后，氟气在氟化合成中的应用

3、逐渐得以含氟特种气体可分为元素氟（氟气）、六氟化硫推广。（SF6）、六氟化钨（WF6）及其他含氟特种气体。我国含1.1理化性质氟特种气体已有十几个品种，其中产量最大的为氟气常温下为淡黄色气体，有强烈的刺激性气SF6，其他已工业化的产品有纯氟气、氟氮混合气、四味，该气体在冷却到144K、压缩到5.5MPa条件下氟化碳（CF4）、三氟化氮（NF3）等。电子工业气体主要即可成为浅黄色-桔红色液体。氟气是强氧化剂，与用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD）或物理气相金属单质、盐类、氧化物的反应大多比较激烈，其中沉积（PVD），这些技术主要用来制造半导体或光伏碱金属、碱土金属一旦碰着氟气就会自燃

4、。氟气几电池。乎可以和所有的有机物反应，生成氟碳化合物和氟电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化化氢，醇、酸、醛和胺与氟气反应也很剧烈，且与有机学品、印制电路板配套用化学品、表面组装用化学品物作用时通常伴有着火燃烧或猛烈爆炸。由于氟气和显示器件用化学品等。集成电路用电子化学品包进行反应时放出大量的热，有机物分子结构遭到破括4类关键产品，最重要的一部分是超净高纯试剂。坏，为使反应缓和，一般用大量惰性气体（如氮气）加超净高纯试剂主要是氢氟酸（HF）、氟氢化钾以稀释，降低反应温度（＜78℃），或加入分散得很细（KHF2）、氟化钾（KF）、氟氢化铵（NH4HF2）及各种含的金属填料以利于散

5、热。干燥的玻璃与干燥的氟气氟无机盐的超净高纯制品。通常反应很慢，当氟气中含有OF3时，玻璃会迅速被本文就部分含氟特种气体和电子化学品市场现侵蚀，反应生成四氟化硅（SiF4）。只有石英玻璃对氟状作简单介绍并略作分析。具有良好的稳定性。氟有着最高的电负性，原子半径最小，几乎能与1氟气所有的元素反应，被应用于制取各种金属、非金属的氟气（F2）的发现至今已有100多年的历史，氟化合物；同时由于氟原子体积小，可以较多地围在其气活性虽高但危险性也大，所以一般不便直接应用他较大原子的周围，形成许多氟化合物，有机化合物于有机物的氟化反应，直到上世纪60年代后才开始中的氢原子大多可被氟原子取代，形成众

6、多的含氟收稿日期：2010-10-13·2·陈鸿昌含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析（待续）氟化工有机化合物。电子工业：在微电子工业中常用的一些气体，如氟气与氯、溴、碘均可直接化合生成各种氟化NF3、三氟化磷（PF3）、三氟化硼（BF3）、CF4和SiF4等，物，如ClF3、ClF5、BrF3、BrF5、IF5和IF7等，其中ClF3均可以通过相应元素与氟的化学反应合成。是比氟气更强的氟化剂，IF5则较为温和。与硫也可医疗和医药：用氟与氩、氦、氖、氮等惰性气体按生成多种化合物，根据不同温度和操作条件可得到不同比例混合，可配置眼外科手术所需的准分子激S2F2、S2F10、SF4等

7、，在低于300℃时主要生成SF6。氟光气。可在90℃温度下于质量分数1%的脲嘧啶水气与水作用生成HF、OF2和O2，在过量的氢氧化钠溶液中通入稀释氟气而制得抗癌药物5-氟脲嘧啶。稀溶液（质量分数5%）中，OF2又被还原生成氧和氟由于它对α粒子遏止能力很强，因而也能应用在放化物，利用这一特性，控制反应条件，是处理含氟废射化学中。气的一种方法。氟气还广泛应用于火箭燃料中的氧化剂、分离虽然氟气具有腐蚀与强氧化性，但氟气具有类铀同位素（UF6）的氟化剂、半导体激光