尾气回收-6操作规程(R0)word03

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1、四川新光硅业科技有限责任公司操作规程文件尾气回收-6（技改新建）操作规程版次A/0（初版）编制日期审核日期批准日期发布实施四川新光硅业科技有限责任公司技术中心70/70目录1.0工艺说明51.1尾气冷凝61.2压缩61.3吸收和蒸馏系统61.4吸附系统71.5设计基础82.0开车准备92.1填料装填102.2泵102.3用脱盐水装填吸附套件102.4吸附柱装填活性炭112.5用氮气吹扫系统112.6压缩机112.7校正仪表122.8检查逻辑控制程序122.8.1阀门的自动/手动122.8.2时序

2、的自动/手动122.8.3手动切换吸附柱状态132.8.4步骤未完成报警132.8.5阀门状态报警1370/702.8.6停车和ESD142.8.7降压程序142.9核对时序控制152.10核对紧急停车系统162.11公用工程162.12冷却系统162.13保温163.0开车173.1用氮气置换183.2干燥吸附柱（见操作说明，5.3步骤清单）193.4干燥氢压机203.5用氢气置换氮气213.6T-602，T-603充填氯硅烷223.7启动压缩机223.8建立氯硅烷循环233.9制冷系统233

3、.10建立氯化氢脱吸塔T-603的温度233.11增加尾气进气量系统正常接收尾气254.0停车264.1过程故障（短期故障）274.2长期故障274.3正常停车2870/705.0操作程序305.1压缩机启动顺序315.2活性炭装载程序325.3活性炭干燥程序346.0控制条件386.1主要控制参数及连锁条件396.2系统报警和复位446.2.1压缩机进气温度报警446.2.2膨胀罐D-605液位报警446.2.3氯硅烷缓冲罐D‐601液位报警456.2.4氯硅烷分离罐D‐602液位报警456.

4、2.5氢气压缩机C‐601A/B/C报警466.2.6脱吸塔压力报警476.2.7氯化氢回流罐液位报警476.2.8HCl电加热器温度报警486.2.9热流体电加热器E‐612温度报警486.2.10氯硅烷循环管路496.2.11ESD系统停车50附1:吸附柱时序图51附2:管道仪表流程图（P&ID）541.0工艺说明51.1尾气冷凝670/701.2压缩61.3吸收和脱吸系统61.4吸附系统71.5设计依据82.0开车准备102.1填料装填112.2泵112.3填装及干燥吸附套件112.4吸附

5、柱填装活性炭122.5用氮气吹扫系统122.6压缩机132.7校正仪表132.8检查逻辑程序132.8.1阀门自动/手动132.8.2时序自动/手动142.8.3下一步（步进）142.8.4步骤未完成报警152.8.5阀门状态报警152.8.6系统停车，ESD152.8.7降压程序152.9检查时序控制162.10检查紧急停车系统1770/702.11公用工程182.12制冷系统抽真空并填充制冷剂182.13保温183.0开车193.1用氮气置换203.2干燥吸附柱（见操作说明，5.3步骤清单）

6、213.4干燥氢压机233.5用氢气置换氮气233.6T-602，T-603充填氯硅烷243.7启动压缩机243.8建立氯硅烷循环253.9制冷系统253.10建立氯化氢脱吸塔T-603的温度253.11增加尾气进气量系统正常接收尾气274.0停车284.1过程故障（短期故障）294.2长期故障294.3正常停车305.0操作程序325.1压缩机启动顺序335.2活性炭装载程序345.3活性炭干燥程序3670/706.0控制条件406.1主要控制参数及连锁条件426.2系统报警和复位476.2.

7、1压缩机进气温度报警476.2.2膨胀罐D-605液位报警476.2.3氯硅烷缓冲罐D‐601液位报警486.2.4氯硅烷分离罐D‐602液位报警486.2.5氢气压缩机C‐601A/B/C报警496.2.6脱吸塔压力报警506.2.7氯化氢回流罐液位报警506.2.8HCl电加热器温度报警516.2.9热流体电加热器E‐612温度报警516.2.10氯硅烷循环管路526.2.11ESD系统停车53附1:吸附柱时序图54附2:管道仪表流程图（P&ID）5770/701.0工艺说明70/70还原尾

8、气回收系统接收CVD还原炉产生的尾气并将其分离为液态氯硅烷、氢气和氯化氢。高纯的回收氢气返回系统供还原炉重复使用（总杂质<1ppm），氯化氢气体和液态氯硅烷返回到其它工序，可用于CVD反应。尾气中的氮气、甲烷和其它的污染物不能被尾气回收系统分离。氯化氢气体和液态氯硅烷返回到其它工序。1.1尾气冷凝尾气进入系统首选经过一系列换热器，这些换热器将进气中的冷凝大部分的气态氯硅烷冷凝为液态。气-气换热器E-602，将尾气冷却到~25℃，同时加预热进入尾气压缩机的气体。‐15°C换热器E-604冷凝出部分