沉积温度对氟化非晶碳薄膜结构和性质的影响

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1、苏州大学硕士学位论文沉积温度对氟化非晶碳薄膜结构和性质的影响姓名：陈玲玲申请学位级别：硕士专业：材料物理与化学指导教师：程珊华20040401扫C积温度刊氟化非品碳薄膜结构和4h质的蟛I

2、_甸中文摘要本文以C2H2和CHF3为源气体在微波ECR—CVD系统中沉积了a-C：F薄膜，并在5000C真空气氛下进行了热处理。重点研究了沉积温度对薄膜性质的影响。分析了薄膜的化学键和结合态随沉积温度的变化情况，测量了薄膜的透光谱，进而计算了光学带隙，考察了沉积温度对薄膜介电性质的影响。结果表明，提高沉积温度有助于薄膜的热稳定性。薄膜主要是由CF

3、x链状及不饱和C=C键组成；CFx基团的浓度在高温下减小；CFx吸收峰的峰位在较高温度下稍微向低波数方向偏移。薄膜C=C键含量与光学带隙之间存在着密切的关联；较低温度下沉积的薄膜具有较低的介电常数；薄膜漏电流的大小与薄膜中的的sP碳含量有关，室温下沉积的膜，因富含高负电性的氟原子，其能隙值较大，电子跃迁几率较小，因而其漏电流较低。关键词a．C：F薄膜、沉积温度作者：陈玲玲指导教师：程珊华型坐!!!堕坐21墅!!塑!!e!!!些!!业坐!!型!竖苎e!!￡!!唑!!!!：!：!型竺!!堕塑竺Influenceofdepositiont

4、emperatureonthestructure&propertiesofa—C：FfilmsAbstractAsoneofpromisinginterlaydielectricsusedinthefutureULSI，fluorinatedamorphouscarbonfilm(a—C：F)hasbeenattractedintensivelyAllkindsoftechniquesforthedepositionofa-C：Ffilmswereintroduced．Manystudiesonelectricalproperty,

5、thermalstability,etcforthea-C：Ffilmswerecan'iedout．However，fewreportsonthecorrelationbetweenthedepositiontemperatureandfilmpropertiesweremade．Inthisthesis，Fluorinatedamorphouscarbonfilms(a—C：F)werepreparedatdifferenttemperaturesusingamicrowaveelectroncyclotronresonance

6、chemicalvapordeposition(ECR—CVD)reactorwithCHF3andC2H2assourcegasesFilmswereannealedat5000Cinvacuumambienceinordertoinvestigatetheirthermalstability,opticalandelectricalpropertieswithdepositiontemperature．ResultsindicatethatfilmsdepositedathightemperaturehavelessCFxbon

7、dingandmorecross—linkingstructuresthusabetterthermalstability．Theyalsohavealowerbandgap，higherdielectricconstantandhigherleakagecurrentKeywords：fluorinatedamorphouscarbonfilm，depositiontemperatureifWrittenby：CheninglingSupervisedby：ChenghanhuaY645680苏州大学学位论文独创性声明及使用授权声

8、明学位论文独创性声明本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果，也不含为获得苏州大学或其它教育机构的学位证书而使用过的材料。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人承担本声明的法律责任。研究生签名：2垄整硷日期：主竺z：暨学位论文使用授权声明苏州大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、清华大学论文合作部、中国社科院文献信息情报中心有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印

9、、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布(包括刊登)论文的全部或部分内容。论文的公布(包括刊登)授权苏州大学学位办办理。研究生签名：i!垄：丝：逢