欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:37101393
大小:3.71 MB
页数:16页
时间:2019-05-11
《中文BOEHFTFTSD超解像技术资料》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、超级解像技術~S/DPattern(ChannelLength:3.5um)~SK-Electronics2012.2制作Introduction(1/4)利用半导体业界中广泛应用的AssistPattern开发Mask新产品利用AssistPattern光回折效果,提高解像度。IntensityIntensityUP无AssistPattern有AssistPatternAssistPattern解像极限以下的SlitIntroduction(2/4)利用Halftone型PSM,实现解像度的提升。QZ
2、PhaseShiftfilm随PhaseShift膜,它的波長将180deg.Shift。同样Phase不同PhaseLine&Space界限部位的Contrast将会提升、随之解像度也会上升。光束的抵消现象Introduction(3/4)利用光回折效果,实现Intensity的提升。IntensityBinaryHTMTOPIntensityUP两种成分合二为一,达到Intensity提高的效果透过率3~10%的HalfTone膜Contrast恶化Introduction(4/4)接下来将着重介绍以
3、下2种解像技术。IntensityTOPViewSideView光振幅分布ReferencePSHTPhaseShiftfilmHalftonefilm+-+-+-SimulationResults~SSM~MaskDesign&ConditionMaskDesignCondition初期膜厚:2.2umREFPSMHTCrPSHTCutlineSimulationResult:IntensityRoundtypeIntensitySimulationREFPSMHTSimulationResult:Re
4、solutionTarget→0.6um(ComparisonofDOSE、ResistProfile)DOSE比較(EOP)ResistProfileUnit:mj与Ref相比,未发现任何差别Cut_line:Xsourcechanneldrain与其它相比,HT(8%)的Contrast(TaperAngle)较低。SimulationResult:ResolutionTarget→0.6um(ComparisonofRTPR:Channel)PR残膜厚RangeのSimulation実施。Cutli
5、ne依赖性(x、y、r)RTPR:Channelpart与Ref相比,没有任何差别。SimulationResult:ResolutionTarget→0.6um(ComparisonofRTPR:Channel、RTPR:SourcePart)PR残膜厚RangeのSimulation実施。Defocus依赖性(0、15、30um)RTPR:ChannelpartSourcepart(Top-Resist):RTPR与Ref相比,RTPR的变化幅度也没有因为Defocus而产生差距。与Ref相比,还是未
6、产生任何差距。未产生Top-Loss。总结:SSM总结・SSM类型分别和Binary,PSM,HTM相比,没有任何差别。・可以利用BinaryPattern,足可以达到窄宽效果。SimulationResults~全解像~SimulationResult:ResolutionTarget→3.5um(ComparisonofDOSE、ResistProfile)DOSE比較(EOP)ResistProfileUnit:mj与Ref相比,HT(8%)对产生能削减24%Dose的效果。同时削减了TactTim
7、e。Cut_line:Xsourcechanneldrain与其它相比,HT(8%)的Contrast(TaperAngle)是比较小的。PSM和HT(8%),有些许Top-Loss。SimulationResult:ResolutionTarget→3.5um(ComparisonofCD:Channel、RTPR:SourcePart)PR残膜厚RangeのSimulation実施。Defocus依赖性(0、15、30um)CD:Channelpart与Ref相比,随着Defocus变化,PSM的CD
8、变化幅度约有的改善,而HT(8%)有近130nm恶化。Sourcepart(Top-Resist):RTPR随Defocus而产生的RTPR的变化幅度,只有对PSM造成影响(2846Å)。而PSM和HTM,与Ref相比较,存在约200ÅTop-Loss。Conclusion:S/D全解像(3.5um)
此文档下载收益归作者所有