电感耦合等离子体质谱仪离子源特性分析

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1、分类号140.5520学号14023009ＵＤＣ533密级公开理学硕士学位论文电感耦合等离子体质谱仪离子源特性分析硕士生姓名岳东宁学科专业物理学研究方向激光等离子体物理赵军研究员指导教师马燕云教授国防科学技术大学研究生院二〇一六年十二月TheAnalysisofIonSourceofInductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometryCandidate：YueDongningAdvisor：ZhaoJunMaYanyunAdissertationSubmittedinpartialfulfillmentofthere

2、quirementsforthedegreeofMasterofScienceinPhysicsGraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha，Hunan，P.R.China（December，2016）国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录摘要.................................................................................................................

3、iABSTRACT.........................................................................................................ii第一章绪论......................................................................................................11.1电感耦合等离子体离子源.....................................

4、........................................11.1.1电感耦合等离子体的形成....................................................................21.1.2等离子体布居........................................................................................21.2电感耦合等离子体研究现状..................................

5、.......................................31.2.1电感耦合等离子体发展概述................................................................31.2.2等离子体工作气体................................................................................41.2.3电感耦合等离子体实验测量方法........................................

6、................51.2.4电感耦合等离子体数值模拟方法的发展............................................61.3研究内容及目的.............................................................................................7第二章低温等离子体的基本特性......................................................................92.

7、1引言.................................................................................................................92.2低温等离子体概述.........................................................................................92.3低温等离子体在平衡态下的组分计算......................................

8、.................102.4低温等离子体输运系数...........................................