QFP半导体产品尺寸抽检机的研发

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1、天津大学工程硕士学位论文QFP半导体产品尺寸抽检机的研发StudyofQFPSemiconductorDimensionInspectionEquipment工程领域：控制工程作者姓名：韩超指导教师：穆朝絮副教授企业导师：韩鸿志正高级工程师天津大学电气自动化与信息工程学院二零一七年十二月独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包一含为获得天津大学或其他教育机构的学位或证

2、书而使用过的材料。与我同工作的同志对，本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签字日期コ。l2月了习学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解天崖大生有关保留、使用学位论文的规定。特授权主義大芝可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和、汇编以供査阅和借阅磁盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名导师签名=lユム签字日期户ワ年月日签字日期加ぞ年{2

3、月多日ıA.'r*中文摘要在半导体产品制造业中，自动化设备的应用越来越广泛。目前，在半导体封装的后道工序中，自动化的视觉检测已经起到了非常重要的作用，尤其体现在方型扁平式封装半导体(QFP)产品管脚尺寸的精确测量上。本文针对某半导体封装工厂的需要，在后道的切筋成型工艺之后，研究设计一台对于QFP管脚尺寸的自动测量设备。这种测量设备的分拣机构是研究设计的重点，它与业界公认的视觉系统完美结合，以较低的成本实现对QFP产品管脚尺寸的精确测量。以下是本文主要的研究设计内容：1.硬件的研究与设计。参考目前

4、已有的自动化测量设备，重新研究设计分拣机的机械结构，并搭建两轴传动系统，实现提取和释放产品的功能；利用两气缸组合，实现三种不同尺寸产品之间的位置转换，并根据定位精度要求不同，合理选择伺服和步进电机。电气方面，采用凌华科技的四轴电机控制卡和高速连接总线输入/输出卡，来搭建整台设备的运动控制系统，并依照视觉系统的信号定义，研究设计信号转换电路与输入/输出卡进行信号转换。2.软件的研究与设计。测量设备的控制程序通过C++Builder2010软件进行开发，并与视觉系统采用同一个工控机，以此来节约成本。

5、控制程序包括自动运行、程序选择、手动控制、位置校准、报警显示和无产品试机等功能。本文所描述的设备可以精确测量QFP产品的管脚尺寸，以此取代了人工利用投影仪等手动测量仪器的测量方法。研究设计这种设备的成本低于其他标准的全面测量设备的成本，是一个定位准确的低成本研究设计案例。关键字：自动化设备，半导体制造，尺寸测量，分拣机IABSTRACTMoreandmoreautomaticequipmentshavebeenappliedinthesemiconductormanufacturing.Now,

6、insemiconductorassemblybackendprocess,automaticvisualinspectionsystemplaysanimportantrole,especiallyfortheaccuratemeasurementoftheleaddimensionontheQFP(QuadFlatPack)semiconductorproducts.Inordertomeettherequirementofthesemiconductormanufacturing,west

7、udyanddesignanautomaticmeasurementequipmenttomeasuretheleaddimensionoftheQFPsemiconductor,whichisaftertrimformprocess.Thekeypointofthedesignisthehandlerofthisequipment,andithastheperfectcombinationwiththeindustry-recognizedvisualinspectionsystemtorea

8、lizetheaccuratemeasurementoftheleaddimensionontheQFPsemiconductorproductswithlowcost.Thedesignincludesthefollowingsections:1.Studyanddesignforhardware.Referringtothecurrentautomaticmeasurementequipmentweareusingnow,thisthesisredesignsthesortingsystem