电磁驱动微运动

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1、电磁驱动微运动程动平B09340207叶园徽B09340224裘晨曦B09340216洪兴超B09340209什么是电磁驱动？电磁驱动式微动台是靠电磁力直接驱动的，通过控制线圈中电流的大小来控制电磁力的大小，从而带动工作台产生相应的精密微位移。由于电磁微动台是电磁驱动单元和并联机构相融合的产物，通过控制电磁驱动元件，可实现微动台的精密运动。由于磁力的非接触性，可以达到很高的精度。当在通电螺线管内部插入铁芯后，铁芯被通电螺线管的磁场磁化。磁化后的铁芯也变成了一个磁体，这样由于两个磁场互相叠加，从而使螺线管的磁性大大增强。为了使电磁铁的磁性更强，通常将铁芯制成蹄形。但

2、要注意蹄形铁芯上线圈的绕向相反，一边顺时针，另一边必须逆时针。如果绕向相同，两线圈对铁芯的磁化作用将相互抵消，使铁芯不显磁性。另外，电磁铁的铁芯用软铁制做，而不能用钢制做。否则钢一旦被磁化后，将长期保持磁性而不能退磁，则其磁性的强弱就不能用电流的大小来控制，而失去电磁铁应有的优点。目前电磁驱动工作台按其工作维数可以分为如下：一维电磁微驱动装置：当中目前主要是利用基于洛仑兹力的音圈电机作为微动驱动器。音圈电机的行程为毫米级，闭环控制精度可以达到纳米级，非常适于小行程超精密运动驱动。二维电磁微驱动装置：主要是靠电磁驱动单元的组合驱动，平面支撑主要靠气浮或磁浮实现。类似

3、于平面电机，但与平面电机有着本质的不同之处是，不存在明显的齿槽效应，该类型机构主要应用于芯片光刻机、光纤对接装置和精密光学仪器中。三维电磁微驱动装置：与二维机构的工作原理类似，其多自由度的运动是靠多个驱动单元共同作用完成，该机构在半导体加工、显微镜扫描、微装配和快速成型等领域有着重要的应用。电磁驱动应用实例圆形电磁驱动台磨床圆形强力电磁吸盘工作台新型电磁驱动器电感传感器的信号采集电路和基于AD698的电感传感器信号调理电路电磁微运动的实现方法电磁铁通电使铁芯磁化，吸引运动机构移动。运动机构的移动（运动范围0-5mm）改变了电感传感器的空气间隙从而改变电感值。电感值

4、的变化会在信号处理电路上用输出电压表现出来。测得的电压变化量接入A/D转换片，转换后得到的数字量送入单片机处理并显示结果。这样就可以把电磁驱动铁芯的实际位移测量出来，将所要得到的位移与实际需要量进行比较后送PID控制部分根据得到的电压信号来判断实际位移量是否符合预想值并进行调节，精度为1微米。最后控制电磁铁的来对实际位移量来调节电磁铁的引力公式为式中B为电磁场磁通密度µ为导磁率S为磁极截面面积电磁铁引力：线圈电流与磁通密度关系为N为线圈的匝数ι为磁路长度μo磁性材料导磁率µ空气导磁率D为空气隙长度I为电流强度由于则改变电流后空气隙长度发生变化，衔铁发生移动从而实现

5、了微位移运动磁致伸缩式微位移机构它的工作原理如图11所示。微动台用片簧支撑，在微动台的端部固定强磁体，它与磁致伸缩棒之间有一定的间隙，通过改变线圈中的电流强度，改变对工作台的吸引力，从而达到微位移的目的。其精度可达亚微米。该机构具有结构简单紧凑、重复精度高、无间隙、刚性好、传动惯量小、工作稳定性好等优点;但在磁场作用下伴有发热，故微动精度不高。它适用于精确位移调整、切削刀具的磨损补偿、温度变形补偿及自动调节系统等运动范围由公式工作台被磁铁吸引而移动的距离正比于（NI）的平方，当电流逐渐增大时气隙d就越来越小，磁通量增大吸引力也显著增大。当达到某一临界值时，工作台就

6、会突然与电磁铁发生碰撞，此临界值可由课本式（5-14）导出：d—初始空气隙长度。当时，发生碰撞，则由上式得出即当工作台移动达到初始间隙的1/3时，被吸向磁极。为此在设计时，应考虑到工作台运动到初始间隙的1/3时，在磁通路中磁通量达到饱和，即可以避免相撞。在磁饱和条件下，公式不再适用在上述条件下磁路阻力比气隙阻力大的多，自然，磁阻不能忽略。随磁饱和产生，磁阻增大，工作台移动量减小若将开始磁饱和时的磁通量的大小定为由公式和公式得出，当产生磁饱和时，整个磁性物质的长度等于气隙长度，B和NI几乎成线性关系，定为范围可以扩大。磁芯环路的形状设计成锥形，增大dS的同时，磁通量

7、也增大，这样B和NI的关系就是线性关系。图5-29所示，为一利用磁泄漏装置，当电流-磁力增大，磁极吸引工作台，使其间隙变小，则磁极磁阻减小，结果磁通量增大，使磁饱和磁性盘里的磁通量饱和，其磁阻和通过磁化极的磁泄露增大。结果，无论电流增大多少，只有通过磁性的磁泄漏增加，而吸引工作台的磁通量不会增加多少，从而使力学特性得到调节，避免发生碰撞。运动精度由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效

8、应、局部饱