《电子薄膜技术》PPT课件

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1、绪论1电子薄膜技术主讲教师：徐进办公室：F410电话：83432236邮箱：xujin@neusoft.edu.cn绪论2第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容绪论3课程性质:微电子制造方向专业课课程特点:内容丰富、概念性记忆性强；理论与实践相结合通过对本课程的学习，能够掌握电子薄膜的主要制备技术及相关知识，为从事微电子、固体电子薄膜及相关领域的研究、设计和生产打下基础。课程简介绪论4总学时：48学时周学时：4学时课时安排：1-12周；周一5-6节、周四1-2节学分：3学分课外学时：12

2、学时（6次课下作业）课程概况绪论5教材：《薄膜材料制备原理、技术及应用》唐伟忠著，冶金工业出版社，2003参考书：《薄膜技术与薄膜材料》田民波，清华大学出版社《薄膜材料与薄膜技术》郑伟涛，化学工业出版社《半导体薄膜技术与物理》叶志镇等，浙江大学出版社《MaterialScienceofThinFilms－Deposition&Structure》M.Ohring，世图影印版教材及参考书绪论6第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容绪论71、上课时必须将手机关机或静音；2、上课不允许讲话，不

3、允许做与本课程无关的事；3、有事提前向老师请假（开假条），课上随机点名；4、上课请杜绝睡觉；5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理；6、上课不需要带电脑！7、请每人准备一个作业本！（笔记）课堂要求希望：积极思考、踊跃发言意见要求及时反馈绪论8类别考核项目考核主要内容所占权重形成性考核平时成绩日常表现：迟到、旷课、纪律、态度、协作、交流迟到、早退一次扣2分，旷课一次扣4分。积极思考，踊跃回答问题，给予加分-作业满分为30分。共6次书面作业，每次作业满分为5分。30%期中考试满分为20分。考察范围：第1-4章知识点

4、。限制性开卷考试20%终结性考核期末考试满分为100分。考察范围：课程全部知识点。限制性开卷考试！50%成绩评定作业成绩按作业上交的数量和质量进行计分。考试时间：期中：第7周；期末：第14或15周学院组织考试绪论9学习方法：以教材和课件内容为主，做好笔记，认真完成作业，养成良好的学习习惯：预习和复习。考试范围：教材相应内容+课件内容+部分补充知识！限制性开卷考试：每人只允许带一单张A4的辅助材料，要求全部手写，加贴、复印、缩印均无效绪论10第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容绪论11Q

5、：为什么要学习这么课程？薄膜材料应用的必要性了解薄膜的制备方法、生长机理、性能表征等1.什么是薄膜材料？2.薄膜材料的特殊性？3.薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因？绪论12由单个的原子、离子、原子团无规则地入射到基板表面，经表面附着、迁徙、凝结、成核、核生长等过程而形成的一薄层固态物质。VacuumSubstratesurfaceAtomThinFilm薄膜的定义绪论13薄膜材料是采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体块材料性质完全不同的物质层。薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。当固体或液体

6、的一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度时，我们将这样的固体或液体称为膜。通常把膜层无基片而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标准，约在1µm左右。厚膜：厚度大于1μm，薄膜：厚度小于1μm关注：固态基片（衬底、基底）上的固态薄膜。绪论14薄膜材料的特殊性：1.与体相材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易产生尺寸效应；2.由于薄膜材料的比表面积很大，所以表面效应很显著；3.在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷态，对电子输运性能也影响较大。Back绪论15第一堂课主要内容课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术

7、的发展课程教学内容绪论16190019502008Computingpowerhasincreaseddramaticallyoverthelastcentury.TheworldhaschangedWhydoweneedthinfilms？在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的地位极为重要。17Devicesbecomemuchmorecomplexly!Theworldhaschanged1971200819473cm绪论18微电子芯片生产：P-N结、绝缘层、导线，并由此构成二极管、三极管、电阻、电容等电子元件是薄膜技术的

8、最主要推动力莫尔定律：每1.5年，更新1代：线宽缩小为上一代的0.7倍绪论19Oceansandspacearenolongersufficientdefensivebarriers;warsnolongerhavefrontlinesTheworldhasch