《防静电培训》PPT课件

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1、防静电基础知识培训教材9/8/20211目录一.静电基本概念及产生原理二.静电对电子工业的危害三.静电的防护与控制四.静电标示及其意义五.生产现场静电防护实例9/8/20212一.静电基本概念及产生原理9/8/20213静电的基本概念之一静电(Electrostatic)就是物体表面过剩和不足的静止电荷,静电是一种电能,它留存与物体表面;静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果;静电是通过电子和离子的转移而形成的。静电放电(ESDElectroStaticDischarge):带有不同静电电势的物体或表面之间的静电电荷转移。有两种形式:接触放电,电场击穿放电。静电敏感

2、度(ESDSElectrostaticDischargeSensitivity)静电敏感器件(ESSDElectrostaticSensitiveDevices)EPA:ESDProtectArea(ESD防护区域)ECA:ESDControlArea(ESD控制区域)---+9/8/20214静电的基本概念之二静电问题依附于物体(气、液、固体)而存在。如果物体带有过剩的电荷则成为带电体。物体间的电荷转移过程就是起电过程。静电产生的方式很多,接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等都可以产生静电。但基本过程可归纳为:接触--》电荷转移--》偶电层的形成--》电荷分离。人体

3、的充电过程剥离带电摩擦带电9/8/20215静电的基本概念之三在一般工业生产中,静电具有高电位、低电量、小电流(脉冲电流,有争议)和作用时间短的特点,设备或人体的静电位最高可达数万伏以至数十万伏;这要比市电220v、380v高得多。但所积累的静电量却很低,通常为微库仑级;静电电流多为毫安级;作用时间多为毫秒级。静电通世界上任何事物一样具有两重性:既能为人类造福,如静电复印、静电涂敷、静电除尘等静电应用技术;亦会带来许多危害,诸如石化、电子及电工领域。就电子元器件的生产及电子设备的装联、调试作业而言,因接触摩擦起电、人体静电与接地问题能造成很大经济损失。初步研究发现,摩擦起电

4、、人体静电乃是电子、微电子工业中之间两大危害源。9/8/20216静电概念小结静电是电荷的产生与消失过程中产生的电现象的总称特点高电位低电量小电流作用时间短复现性差瞬间现象多受湿度影响较大9/8/202171.接触起电当两个不同的物体相互接触时就会使得其中一个物体失去一些电荷带正电,而另一个物体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和,电荷就会积累使物体带上静电。例A.剥离塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起电B.脱衣服产生的静电也是“接触分离”起电。C.摩擦起电是一种接触又分离的造成正负电荷不平衡的过程。实质上是接触分离起电。9/8/20218当带电

5、物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电2.感应起电ABC3.热电和压电起电、喷射起电等气体,液体的流动与喷射9/8/20219静电产生的物理过程静电产生的方式接触摩擦冲流冷冻电解压电温 差…...接触电荷转移偶电层形成电荷分离静电产生9/8/202110二.静电对电子工业的危害9/8/202111静电的危害一ESD是英文ElectrostaticDischarge的缩写,即"静电放电"的意思。当某些电介质、导体带上静电荷后,尽管所带电荷量不多,但由于自身对大地分布电容非常小,使得静电电位较高。当垂直于带电物体表面的静电电位达到2000伏时,就会向空气

6、放电。在日常生活中,许多ESD现象,我们都亲身经历过。譬如,在冬季一间温暖的房间里,走在覆盖地毯的地面时,当你伸手接触门的把手时,就会有电击的感觉;脱下合成纤维衣服时产生噼啪声,夜间还可以看到火花(空气的击穿场强为30kv/cm);天气干燥时,用塑料梳子梳头时会产生放电声。对于人体而言,这种静电的突然放电不会造成任何伤害;可是,对于ESDS(静电放电敏感器件)器件,静电放电就可能损害电子器件。ESD对电子器件的损害是人体觉察不到的,具有隐蔽性,需通过仪器才能检测出电子器件发生ESD事件,主要是各种静电源(人体、工作台等)对电子器件放电所致。在集成电路(integratedc

7、ircuit)工业中,静电放电可以使集成电路芯片介质击穿,芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等等。静电放电对电子器件损害具有潜在和缓慢失效性,这种情况危害更大。通常,ESDS(静电放电敏感器件)器件易发生静电放电,所以,受ESD的危害更大。9/8/202112静电的危害二今天,大多数电子器件采用对静电极为敏感的MOS工艺制作,因此,无论从器件的发展还是器件的应用出发,为了防止ESD对电子器件的危害,有必要对电子器件受静电危害的机理以及相应的防护措施进行探讨。试图阐明电子器件ESD产生的原因,并对IC的ES

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