《气体输送系统安全》PPT课件

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1、气体输送系统安全1气体输送系统安全Afterthistraining,youwillbeableto:了解半导体/电子行业气体种类及特性了解低温气体的危害及防护了解如何确保气体输送系统安全了解如何正确操作钢瓶了解gas-handling设备及其功能了解系统输送系统的部件及其功能了解gascabinet和VMB/P2设计准则气体输送系统的三大设计准则SafetyProcessControl工艺控制（流量、压力等）PurityControl纯度控制（纯度/颗粒度）3气体分类一根据气体储存形式不同，分为：BulkGas大宗气体（特指Ar,N2,O2,He,H2）SpecialtyGas特种气体

2、(SiH4,NH3,CF4,etc.)CompressedDryAir干燥压缩空气4气体分类一—大宗气体BulkGas大宗气体--N2/Ar/O2通常半导体工厂，厂务N2/Ar/O2以液态储存在槽罐内5气体分类一—大宗气体低温液体在常压下沸点低于-240oF(-115oC)例如O2液化温度(-297oF)(-183oC)Ar液化温度(-302oF)(-186oC)N2液化温度(-320oF)(-196oC)oC=(oF-32)5/96气体分类一—大宗气体低温液体危险性低温蒸气扩散低温液体可能引起冻伤7气体分类一—大宗气体低温气体的其它危险低温可能会引起周围物品的损伤危险危险包括过冷过大的

3、体积膨胀雾8气体分类一—大宗气体低温引起的破裂9膨胀率10气体分类一—大宗气体低温危险防护提供排风系统正确操作气瓶正确的系统设计适当的个人防护设备11气体分类一—大宗气体BulkGas大宗气体--H2/He由于H2和He的液化温度极低，加之自然界游离态气体极少，故H2和He一般以高压气态形式储存在钢瓶内（国外使用液态储存），并且以钢瓶组供应H2常用电解水得到，He从矿石中提炼得到（绝大部分产自美国）H2液化温度(-423oF)(-253oC),He液化温度(-452oF)(-269oC)绝对零度为-273oC12气体分类一—特种气体什么是SpecialtyGas特种气体大宗气体&CDA以

4、外的气体空气中极稀有气体（如Xe氙气）不存在空气中，人工合成之气体（如AsH3砷烷）特殊用途之超高纯气体（又称电子级气体）13气体分类二根据气体危险性，气体分为：不可燃气体(N2,SF6,NF3等)可燃性气体(H2,SiH4,CH4等)氧化性气体(O2,N2O等)毒性气体(AsH3,PH3等）腐蚀性气体(Cl2,DCS等）14气体分类二—常见危险符号不可燃性等级可燃性等级氧化性等级毒性等级腐蚀性等级15气体分类二—不可燃气体常见不可燃气体种类（通常指类似的惰性气体）不可燃气体之危险性窒息性——取代肺中的氧气压强——单位面积所承受的压力能量——气体在状态转变过程中产生的能量16气体分类二—

5、不可燃气体氧气被其他气提所取代之危害:19.5%人类正常生活所需要的最低氧气浓度极限15-19.5%工作能力下降，冠状动脉，肺部和循环系统出现先期症状，12-14%呼吸，脉搏加快，渐渐失去知觉10-12%呼吸，脉搏进一步加快，丧失判断能力，嘴唇发紫8-10%无意识，呕吐6-8%8分钟死亡率100%，6分钟死亡率50%，4-5分钟尚可恢复4%40秒钟内昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡17气体分类二—可燃气体常见可燃气体种类H2/SiH4等可燃气体之危险性窒息性压力可燃性爆炸可能性18气体分类二—可燃气体19气体分类二—可燃气体燃烧过后的不锈钢气瓶20气体分类二—可燃气体可燃性气体的危险防护保

6、证空气的流动，配备排风正确的钢瓶操作流程使用防爆设备避免任何火化产生的可能21气体分类二—氧化性气体用途：O2–无法呼吸时，医生会用来维持呼吸N2O-“笑气”，牙医会用来做麻醉剂这种气体怎么会有危险性?22气体分类二—氧化性气体引燃物燃料氧化燃烧三角形（三者缺一不可）普通燃料木头碳燃气燃油氧化物燃料铝不锈钢碳钢引燃物压缩且隔热(如柴油机)冲击高速度摩擦其他引燃物23气体分类二—氧化性气体用于氧化性气体输送系统的材料必须:材料兼容（与活泼的氧化性气体不反应）对材料系统作特殊清洁处理(Oxygenclean)过高含氧量的危害当含氧量>=23.5%时，燃烧特性发生改变可燃范围增大自燃温度下降通

7、常不会燃烧的物质在高氧环境会燃烧通常会燃烧的物质在高氧环境会极易燃烧，且燃烧速度极快24气体分类二—氧化性气体氧化性危险防护提供排风系统正确操作气瓶使用相容的原料避免引燃点确认系统经过适当的清洗25气体分类二—毒性气体例如AsH3PH3B2H6毒性气体之危险性对身体毒害中毒途径吸入通过皮肤吸收吞食注射26气体分类二—毒性气体专业术语TWA(TimeWeightedAverage)–工人每天8小时，每周40小时，无任何防护措施的情况下