压电式传感器的性能测试

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1、第18章压电式传感器的性能测试18.1实训的目的要求18.1.1实训目的1.通过实训更好地掌握有关压电式传感器的结构原理，更好地理解相关的理论知识，为更好地使用这种传感器打下坚实的基础；2.通过实训彻底弄清压电式传感器的构造情况，了解其使用过程中常见的故障，掌握排除的方法；3.了解这种传感器在工程实际中的应用状况，弄清其性能特点和应用范围；18.1.2实训要求1.认真复习有关压电式传感器的工作原理、性能特点等理论知识；2.预习该实训的相关内容，看懂实训教程所给的电路原理图，考虑好接线和布线的方法，以利于更好地完成本次实训；3.认真仔细地测量每一个数据，作好记录、及时完成实训报告；118.2实训

2、的基本原理18.2.1压电式传感器的工作原理压电式传感器的工作原理是建立在某些材料的压电效应的基础上的，它利用具有压电效应的材料作为传感器的敏感元件，将被测量转换为电信号，实现对非电量的检测。所谓压电效应[7]是指某些电介质材料，当沿着某些特定方向对其施加作用力使其发生变形时，这种材料的内部就会产生极化现象，在其相对的两个表面会形成正负电荷。一旦外力消失后又会重新恢复到不带电状态，这种应变致电现象叫压电效应。当改变作用力的方向时，电荷的极性也随之改变。我们把由机械能转换成电能的现象叫“正压电效应”；反之，若在电介质的极化方向上施加一定的电场，它们就会产生变形，我们称之为“逆压电效应”或叫“电致

3、伸缩效应”。自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱，不具备实用价值。压电材料可能分成两大类：压电晶体和压电陶瓷。衡量压电材料的性能参数主要有：1.压电常数：它是衡量材料压电效应强弱的参数，直接关系到输出灵敏度；2.弹性常数：它与压电器件的固有频率和动态特性有关；3.介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限；24.机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换输出能量（如电能）与输入能量（如机械能）之比的平方根；它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数；5.电阻：压电材料的绝缘电阻将减小电荷泄漏，从而改善压电传感器的低

4、频特性；6.居里点：压电材料开始丧失压电特性时的温度称为居里点；18.2.2常用压电材料目前常用的压电材料主要有石英晶体、钛酸钡（BaTiO3）、锆钛酸铅(PZT)等很多种类。石英晶体材料的压电系数很稳定，但其灵敏度较低且介电常数小，因此已渐渐地被其它压电材料代替；钛酸钡材料有较高的压电系数且价格低廉，但只适用于700C以下的低温场合；锆钛酸铅系压电材料是钛酸铅(PbTiO3)和锆酸铅(PbZrO3)组成的固溶体。这种陶瓷的压电性能大约是钛酸钡的两倍，特别是在—55~2000C的温度范围内无晶相转变，已成为压电陶瓷研究的主要对象。它的缺点是烧结过程中氧化铅（PbO）的挥发问题，难以获得致密的烧

5、结体，以及压电性能依赖于钛和锆的组成比，难以保证性能的均匀一致。18.2.3测量电路简介压电式传感器本身具有很高的内阻抗，而输出的能量又非常微弱，因此它的测量电路通常需要有一个高输入阻抗的前置放大级作为阻抗匹配，方可接入到一般的放大、检波和显示等处理电路，或者再经功率放大器至记录仪器。压电式传感器的前置放大级起到以下二个方面的作用：一是把传感器的高输出阻抗变换成低输出阻抗；二是放大传感器输出的微弱信号。压电式传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷信号。因此，前置放大器也有两种形式：一种是电压放大器，它的输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比；另一种是电荷放大器，其输出电压与传感器的输出

6、电荷成正比。下面分别介绍电压放大器和电荷放大器的工作原理。1.电压放大器（阻抗变换器）电压放大器的工作原理如图18.1中A和B所示，A图为电路原理，B图为等效电路图。其中，电阻R=RaRi/（Ra+Ri），电容C=Ca+Cc+Ci，而ua=q/Ca，若压电敏感元件受正弦力f=Fmsinωt的作用，则其；输出电压ua可表示为（18—1）式中：Um为压电传感器输出电压幅值，Um=dFm/Ca；d是压电系数；由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为（18—2）Ui的幅值Uim为（18—3）输入电压与作用力的相位差为（18—4）在理想状态下，传感器的Ra与前置放大器的Ri均为无穷大，即ωR(Ca+C

7、c+Ci)远大于1，所以由式（18—3）可得理想状态时的输入电压幅值为（18—5）上式说明前置放大器输入电压与频率无关。一般认为ω/ω0>3时，就可以忽略频率的影响了。ω0为测量电路时间常数之倒数，即ω0=1/R（Ca+Cc+Ci），这表明压电传感器有很好的高频响应，但是当作用力为静态力（ω=0）时，则前置放大器的输入电压为零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电式传感器不