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1、大型玻璃基板搬运用机器人Artis系列Series/ModelFeatureSJ系列上下屈伸型玻璃搬运机器人SJ25C第5代对应机型Class10上下活动空间1.6/2.2m前后活动空间2.4mSJ80C第6,7代对应机型Class10上下活动空间1.8/2.4m前后活动空间3.7mSJ120C第8,9代对应机型Class10上下活动空间2.8m前后活动空间4.5mSHC系列垂直多关节型SH133CSH200CClass1000可搬重量133kg/150kg6自由度(可对应垂直放置的布局)CLEANROBOT一览CLEANROOM
2、的对应垂直多关节型机器人ArtisSH-C系列SH133CSH200C机器人外观SH133C133KG可搬6轴多关节机器人SH133C应用案例Spec.1[rad]=180/[°],1[N・m]=1/9.8[kgf・m]Note1)Duringdevelopment,specificationsmaychangewithoutnotice.机器人外观等级最大的可搬重量、允许扭矩可搬运玻璃基板等工件至空间狭小的箱体内可搭载高刚性的抓手→最大限度的控制工件的弯曲变形・震动较大的动作范围可对应次世代的大型玻璃基板的垂直放置布局较大的
3、手臂动作范围可实现工件各种各样的姿势可实现玻璃基板的垂直型搬运等级最大的手臂弯曲轴(B轴)可实现±135°的动作范围高性能高性能控制装置(以电脑为基础的AX控制装置)比起监视控制,震动控制等实现了大型机器人厂家机器人的动作特性特长Operationalareaincludingwristbendingaxis(B-axis)Verticaloperationareacomparison(+/-135deg.and+/-125deg.)Differencebetween+/-135deg.and+/-125deg.Horizont
4、aldirectionapprox.700mmwider(23%up)Verticaldirectionapprox.300mmwider(23%up)+300mmUP+700mmUPHorizontaloperationareacomparison(+/-135deg.and+/-125deg.)(SH133C)基本规格(与他社对比)机器人型号他社ARTISSH200CCR165-200构造多关节型多关节型自由度66最大臂长mm2,6742,446手首允许扭矩J4軸N・m1,2741,058J5軸N・m1,2741,058J6軸
5、N・m686490手首允许瞬间惯性J4軸kg・m2117.351.25J5軸kg・m2117.351.25J6軸kg・m265.915CLEAN度CLASS1,000CLASS1,0002,5002,200Case1强力型手首扭矩第8代液晶用玻璃基板【2500×2200×0.7mm(11kg)】OffsetOFFSET100mm300mm500mmJ5軸负荷扭矩1,031Nm1,103Nm1,177NmNACHISH200C○○○J5軸允许扭矩1,274Nm他社CR165-200○××J5軸允许扭矩1,058Nm测试条件:JI
6、SB8432基准位置重返精度测试结果方向重复位置动作的变动(±3σ)X轴方向±0.041mmY轴方向±0.023mmZ轴方向±0.032mm综合±0.057mm测试机型:SH200粒子测试结果(SH200C)・测试环境CLASS1000CLEANROOM+CLEANCHAMBER・测试位置定期维护项目SH-C系列的定期维护项目维护内容场所周期加润滑油J4轴减速机以外(3个部位)12个月/次润滑油更换减速机(6个部位)20,000小时(稼动时间)/次或4年/次电池更换机器人本体底座部3年/次电池基板电容器更换机器人本体底座部6年/次
7、大保养、请在40,000小时稼动时间或8年内、短期实施。世界最大可搬重量的长手臂机器人SC400LC(400kg可搬)登场更大的可搬重量・手首扭矩长手臂构造有更大的动作范围→最适用于超大型玻璃・等离子用玻璃搬运项目规格最大臂长3,623mm上下最大活动空间4,998mm可搬重量400kg允许扭矩J5軸1,960N・mJ6軸980N・m允许惯性瞬间J5軸200kg・m2J6軸147kg・m2位置重复精度±0.5mmCLEAN度Class1000本体重量3,800kg400kg可搬6轴多关节机器人SC400LC上下・水平方向较大的动作
8、空间可实现工件的倾斜・反转动作2,3002,000Case2强力型手首扭矩大型等离子用玻璃基板【2300×2000×2.8mm(45kg)】OffsetOFFSET300mm500mm700mmJ5轴负荷扭矩1,611Nm1,730Nm1,850N