基于气体电离的气敏传感器的研究

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1、摘要在工业高度发达的今天，气体污染所带来的损失已经严重威胁到人类的生存，解决问题的关键是迅速准确的检测到这些有毒、有污染的气体，这便是气敏传感器发展的客观依据。气敏传感器，俗称电子鼻，是目前比较热门的新型传感器技术。气敏元件传感器作为新型敏感元件传感器在国家列为重点支持发展的情况下，发展到现在已经有了一定的基础。本课题研究的是一种基于气体电离的气敏传感器。气体的电离取决于所施加的电场强度。在相同的外加电压下，电场强度和两电极间的距离有关，距离越小，电场强度就越大。因此若能使电极间的距离缩小到几个纳米，将大大地降低气体电离所需的外加电压。在这里，我们用了电镀的方法来缩小

2、电极之间的间隙，用在线阻抗监测的方法来实时监控电镀情况，并将得到的信号用来反馈控制电镀，合理的控制电镀的时问，寻求最佳的切断电镀电源的时机，研究不同的电解液浓度不同的电镀时间给电极带来的间隙和形状上的影响，找到一种灵活的合理的制造纳米间隙电极的方法。每一种气体都有自己独特的击穿电压，在本课题中，在微电极制作的基础上，进一步研究不同条件，不同气体的击穿电压。研究电极的形状，阃隙带来的击穿电压的变化，寻找提高离子检测灵敏度、稳定性的方法。关键字：气体电离气敏传感器纳米间隙在线监测击穿电压AbstractWiththedevelopmentofindustry，lossof

3、gaspollutionhasthreatenedhumanbeingsbadly．Thekeytosolvetheseproblemsistodetectthosepoisonousandcontaminativegases，developmentofgassensorisjustaccordingtothis．Gassensor，whichisalsocalledelectronicnose，isapopnewsensortechniquenow．Gassensorissupportedbyourgovernmentwithgreateffort，andnowha

4、ssomebases．Ourprogramistoresearchakindofgassensorbasedongasionization．Withthessmeexternalv01tage，intensityofelectricfieldbelongstodistancebetweenelectrodes。Thecloser，thestronger．Soifwecanreducethedistancetoatomicseparation，itwillreducethev01tagealotwhichionizationneeded．Here，weuseameanb

5、yplatingtoreducethedistancebetweenelectrodes，andmonitortheinterelectroderesistanceon—line．Oncewegetsignal，wecancontroltimeofplating，findthebestchancetocutoffpower．studyinfectionofdifferentelectrolyteconcentrationanddifferentplatingtimetoelectrodes。Finally，wewillfindawonderfultechniqueto

6、makenano-separationelectrodes．Eachgashasauniquebreakdownelectricfield．Inourresearch，afterfabricatingofmicroelectrodes，wewillstudybreakdownvoltageunderdifferentsituationanddifferentgas．Studyinfectionofdifferentshapesanddistances，tofindatechniquetoimprovesensitivityandstability．Keyword：Ga

7、sionizationGassensorNano-separationOn一1inemonitorBreakdownvoltageⅡ独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也习；包含为获得堑望盘堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位敝储签名：坼访签字月期：刃哆年石月，J日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解逝望盘堂有关保留