稀土掺杂新型镀膜材料的研究

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1、摘要氟化镁(MgF2)作为一种传统的镀膜材料，在薄膜光学领域有着十分重要的地位与作用。氟化镁薄膜是所有低折射率的材料中最为牢固的薄膜，有着良好的光学性能和机械性能。本文对在MgF2中掺杂YF3(CaF2)材料进行了光学性能和机械性能的研究。通过在K9玻璃上镀制单层增透膜，并对其透过率、激光干涉条纹、附着力、以及耐磨性进行了测试，得出了在MgF2中掺杂5％，．--10％的YF3材料可以有效的改善氟化镁薄膜的张应力，而且对于薄膜在可见光区的透过率也有所提高。同时还保持了薄膜良好的机械性能。在MgF2中

2、掺杂5％的CaF2材料也得到了不错的效果。实验证明YF3(CaF2)可以掺入MgF2中形成新的镀膜材料。对于薄膜应力的测试，是通过测量镀膜前后基片的激光干涉条纹的改变来实现的。这对于测量薄膜应力的改变，是一种较为简便的方法。当今对于新型镀膜材料的研究较多，但对传统镀膜材料的改性研究较少。本文在MgF2中掺杂YF3(CaF2)材料是对传统镀膜材料的改性做了一个有益的尝试，也是对新型镀膜材料的研究做了一个有益的尝试。关键词：MgF2YFa真空镀膜薄膜应力单层增透膜A。BSTRACTMagnesiumF

3、luoride(MgF2)asatraditionalthin—filmmaterial，hasaveryimportantpositionandeffectinthefiledoftheopticfilms。MagnesiumFluoridefilmisthestrongestfilmofallmaterialshavelowrefractionindex，wi廿1goodopticalperformanceandmechanicalproperties。Inthispaper，weresear

4、chedtheopticalperformanceandmechanicalpropertiesofthematerialofMgF2adulteratedYF3(CaF2)。Bydepositedasingle—layerARcoatingonK9glass，andtesteditstransmission、laserinterferencefringes、adhesionandwear-resistantquality．weCallobtainedthematerialofMgF2adulte

5、rated5％～1O％YF3Canimprovethetensilestressofmagnesiumfluoridefilmeffectively。Whilemaintainingwellthemechanicalpropertiesofthin—film。AlsothematerialofMgF2adulterated5％CaF2hasbeengoodresults。TheresultsshowthematerialofY-F3(CaF2)canbeadulteratedintheMgF2an

6、dbecominganewthin—filmmaterial。Forthefilmstresstest，isbymeasuringthechangeoflaserinterferencefringesofthesubstratesbeforeandafterdepositedtoachieve。ThisiSamoresimplewayformeasuringthechangeoffilmstress。Today’Sresearchfornewthin—filmmaterialsaremorecon

7、ventionalbutlessmodificationofthin．filmmaterials。Inthispaper，wehasmadeagoodattemptforthemodificationoftraditionalthin-filmmaterialsbyadulteratingYF3(CaF2)intoMgF2，andforthestudyofnewcoatingmaterialsiSalsoausefulattempt。Keywords：MgF2YFavapordepositiont

8、hefilmstresssingle-layerARcoatingII摘要ABSTRACT目录第一章光学1．1金属1．2介质1．3金属第二章真空2．1前言2．2真空第三章膜系3．1膜系3．2增透3．3菲涅3．4单层3．5单层增透膜的设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．29第四章实验部分⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．304．1基片的加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．304．2镀膜材料的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯334．3真空镀制单层增透膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．