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1、第!"卷!第#期!光学精密工程5267!"!827#!!!!!!!!!!!!!!!!!"$$%年!"月!!!&’()*+,-./01*)+)2-3-4)-110)-4!!91*7"$$%文章编号!!$$%:?"%@!"$$%"$#:$A#$:$#数字化白光扫描干涉仪的研究张以谟!井文才!张红霞!李海峰!李朝辉"天津大学精密仪器与光电子工程学院光电子技术科学教育部重点实验室!天津B$$$;"#摘要!研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统#前者采用[)0,J相移干涉形式$用压电陶瓷
2、传感器/GD作移项器$主要用于微形貌测量$精度可达-C量级#后者采用光路补偿白光[)*H16+2-干涉形式$用格兰棱镜对偏振态进行调整控制$用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差$光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到A$CC$测量范围达到!^C$探测灵敏度不小于Y<$.b!耦合模式与主模式的功率比"#关!键!词!白光干涉仪!扫描模式!微形貌测量!偏振耦合点位置测量中图分类号!&%B#7!!!文献标识码!E03?#),%&’@%5/$’,%A’.$,"(+--’-.’-,%&*%&3?%,%&+-5,$%+##A’(
3、+,’3-GLE8Ra):C2$ZK8RW1-:*,)$GLE8RL2-4:U),$=KL,):O1-4$=KGH,2:HJ)!K7’(’)*&+,@&%,@),-3/%,’0’4%@,814K’478,0,914$41’84’$D=6$K7’6,00’9’,-!@’4151,8;85%@:>’8%&823/%,’0’4%@,814D8918’’@189$K1&8L18M81N’@51%)%K1&8L18B$$$;"$6718&"!6",&+(,&DH1)-+(0JC1-(,()2-’0)-*)’61+,-..1+)4-
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5、C’1-+,()2-$I)(H(H1’26,0)T,()2-+(,(1+,.VJ+(1.,-.*2-:(02661.PN02(,()-4,R6,-’0)+C$,-.PNS,0N)-401O101-*1,0C(2*2C’1-+,(1(H1.)OO101-*12O6)4H(’,(H)-.J*1.PN’26,0)T,()2-*2J’6)-4’2)-($)+.1S162’1.(2C1,+J01(H1’2+)()2-2O’26,0)T,()2-*2J’6)-4’2)-(:)-42’()*,6O)P107DH101+J6(+,01(
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7、象$但牛顿仍用光的微粒说解释#!<$!年$托9!历史背景马斯’杨提出杨氏干涉实验$!<
8、!!?%<年97R,P20提出现代全息照相术前身的传感器/GD带动干涉物镜移动!由于光源有一定波阵面再现原理等!几百年的时间"干涉仪都是以谱宽"相干长度很短"并且当干涉仪的两个路径的长#白光作为光源$"要求干涉仪光程长度严格匹配!度接近匹配时"可以得到很好对比度的条纹!干涉条纹零级的位置与波长无关"便于定位干涉零级"
