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《离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、第!"卷!第#期!光学精密工程6378!"!938#!!!!!!!!!!!!!!!!$%%&年&月!!!’()*+,-./012+*,*3.4.5*.221*.5!!:;.8$%%&文章编号!!%%"=A$"B!$%%&"%#=%#>%=%&离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究薛栋林!!$!郑立功!!王淑平!!张学军!"!8中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心!吉林长春!#%%###$8中国科学院研究生院!北京!%%%#A$摘要!分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差#给出了计算机辅助调整方法$建立了离轴二次非
2、球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型#求解了被检非球面镜的失调方位和量值#利用计算机控制调整架实现了系统辅助调整$建立了实验装置#给出了模拟调整和实际调整结果$经过计算机辅助调整后#被检离轴二次非球面的最终检验结果为%8%$>&!aXR"!&g&#$8>.C"$关!键!词!非球面检验!补偿器!调整误差!计算机辅助调整中图分类号!K_!?!8&>!!文献标识码!@Q.4.)"796*6;;(),/476*/7)4-9.".*8221.41/*584/*5760-81."()/+.+)2/5*0.*10.196+!#$#Pb49ND*=53.5!#H@9NRQ;=
3、(*.5!#Pb@9NB;2=M;.!BO4T3.5=7*.!!!9:2#@0:’#"#$%&%’%()*./%&0$#C&#(+(0:2#&0$2#,?:6$&0$#9:&#($(H02,(>6)*G0&(#0($#9:2#@0:’#!#%%###9:%$!L-2,’2%(G0:))<)*%:(9:&#($(H02,(>6)*G0&(#0($#I(&8&#!%%%#A#9:"<&41")71&KQ2C*,-7*5.C2.)=*./;+2/-E211-)*3.,EU+3112+)31-./)Q2,;((31)3W)Q2-,(Q212V212-.-=7US2
4、/*.)Q*,(-(218@+3C(;)2/=-*/2/-7*5.C2.)C2)Q3/V-,(12,2.)2/+3CE*.*.5)Q2*.)21W213C2)1*+)2,)V*)Q)Q2+3C(;)213()*C*S-)*3.W313()*+-7-7*5.C2.)#-./-C-)Q2C-)*+-7C3/27V-,2,)-E7*,Q2/)3/2)21C*.2)Q2C*,-7*5.C2.)8KQ2,*C;7-)2/-./-+);-72Z(21*C2.)-712,;7),3W)Q2-7*5.C2.),Q3V)Q-)-W)21W3;1)*C2,-7*5.C2.))Q2)2,)
5、12,;7),3W)Q2-,(Q212+-.12-+Q;()3%8%$>&!aXR"!&g&#$8>.C"8=.>:6"+4&-,(Q212)2,)*.5%.;77+3112+)31%-7*5.C2.)21131%+3C(;)21=-*/2/-7*5.C2.)补偿器和被检镜相互位置关系不正确引入的#而?!引!言非镜面本身的面形误差$如果不消除这些误差#就会在抛光操作中作为面形误差予以修正#从而’#(!!零位补偿检验技术广泛应用于非球面抛光阶导致非球面面形加工产生错误$因此分析)计段#非球面面形检验时#调整误差会对测量结果造算调整误差对获得准确的检测结果以及合理设计’!
6、=$(成一定影响$这些测量误差完全是由干涉仪)调整装置有很大的指导意义$!!收稿日期!$%%<=!%=!""修订日期!$%%&=%"=%>8!!基金项目!国家杰出青年基金资助项目!938&AA$<!从理论上讲任何由装调引入的误差都可以通过重新调整五维调整架去除!由于采用传统的手工调整周期长"实现光路的准确定位非常困难#因此本文研究二次非球面检验光学系统失调引入的波像差#计算出光学系统中各零件失调的方位和量值#采用计算机控制调整调整机构#以实现非球面检验光学系统的精确定位!在检验过程中#可以
7、有目的地使各光学元件达到最佳的位置状态#图!!离轴非球面干涉零位检验装置提高干涉检验的效率#为加工出合格的非球面面G*58!!R+Q2C-)*+3W3WW=-Z*,-,(Q21*+.;77)2,)*.5,U,)2C形提供保障!&+3,&$6’J],*.&$6’OITJ2上世纪>%年代#国外一些光学工作者已经意,*.&$J’,*.&$6’JI+3,&$J’6I,*.&$J’+3,&$6’OIT6识到分析"计算装调引入误差的重要性#随即展开#Ug#了一系列的研究#提出了相关算法$"=<%!+3,&$J’,*.&$6’J],*.&$J’6I+3,&$J’+
