热处理温度对Pt—WO3薄膜结构和氢敏性能的影响

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1、维普资讯http://www.cqvip.com热处理温度对Pt—WO。薄膜结构和氢敏性能的影响47热处理温度对Pt—WO3薄膜结构和氢敏性能的影响EffectofHeatTreatmentTemperatureonStructureandHydrogen—sensingPropertiesofPt—WO3ThinFilms范小花，唐一科，侯长军，范瑛。(1重庆科技学院安全工程学院，重庆400042；2重庆大学，重庆400030；3中国工程物理研究院结构力学研究所，四川绵阳621000)FANXiao—hua，TANGYi—ke，HOUChang—jun，FANYin

2、g。(1DepartmentofSafetyEngineering；ChongqingInstituteofScienceandTechnology；Chongqing400042，China；2ChongqingUniversity，Chongqing400030，China；3SouthwestInstituteofStructuralMechanics，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621000，Sichuan，China)摘要：以钨粉和双氧水为主要原料，采用溶胶一凝胶法及旋转涂膜技术在K9玻璃上制备了WO。纳

3、米薄膜，然后用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了Pt作催化剂。将此Pt—WO3薄膜分别在100～500X2的氮气环境中进行热处理，用XRD，AFM，分光光度计等观察了薄膜的结构和表面形貌，分析了薄膜的微观结构及热处理温度和催化剂含量对薄膜的结构和氢敏性能的影响。结果表明，薄膜经400℃以下热处理后是非晶态结构，表面疏松多孔，透光率较高，氢敏效果好；经400~C以上热处理后呈晶态结构，表面粗糙致密，透光率较低，氢敏效果差；催化剂Pt的含量对薄膜的氢敏效果有影响，当含量为5％(质量分数)时，Pt—w0。薄膜的氢敏感性能较好。关键词：氢敏性能；热处理温度；Pt—WO。薄

4、膜；结构中图分类号：TO136．1文献标识码：A文章编号：1001-4381(2008)07—0047—04Abstract：Pt—WO3thinfilmshavebeenpreparedwithSol—GelmethodandDCreactivemagnetronsput—teringmethod．AfterannealedinambientN2ati00—500℃，themicrostructureandsurfacemorphologyofthefilmswereanalysedwithXRDandAFM．Theeffectofannealingtemperat

5、ureandcontentofcatalyzer(Pt)onthestructureandhydrogen—sensingpropertieswereexamined．TheresultsshowedthatthePt；WO3thinfilmswhichannealedbelow400℃areamorphousandhavegoodhydrogen—sens—ingproperties；Thefilmswhichannealedover400~Carecrystallineandhavebadhydrogen—sensingproperties；Thepermeate

6、drayrateandhydrogen—sensitivityofthefilmsdecreasedwithannealedtern—perature；TheamountofPthaseffectonthefilm’Shydrogen—sensingproperty，whenthecontentis5(massfraction)Pt，thePt—WO3thinfilmhasgoodhydrogen—sensingproperty．Keywords：hydrogen—sensingproperty；heattreatmenttemperature；Pt／WO3thinf

7、ilm；structure三氧化钨是近年来开发出的一种重要的功能材溶胶一凝胶方法制作的Pt(Pd)／wo。薄膜对氢气的响料。它因为具有稳定的化学特性和较高的氧空位扩散应速度比用硅树脂分散Pt(Pd)／wo。粉体制作的薄膜系数，被认为是很好的气体敏感材料，对多种气体具有快。研究表明，wo。薄膜的结构对其气敏性能有较大优良的敏感特性口。通过在WO。材料中掺杂一定的影响，只有非晶态、单斜晶和三斜晶相的wO。才具量的金属或金属氧化物后，可以提高它对某一种气体有氢敏性能，且非晶态的wo。薄膜比晶态的wo。薄的选择敏感性。如掺杂Au或ZrO。后，能提高WO。对膜