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1、第34卷第4期航天器环境工程Vol.34,No.42017年8月SPACECRAFTENVIRONMENTENGINEERING393http://www.bisee.ac.cnE-mail:htqhjgc@126.comTel:(010)68116407,68116408,68116544航天器表面瞬态测温用薄膜热电偶的研制121111李振伟，董景龙，刘畅，刘泽元，朱熙，顾磊（1.北京卫星环境工程研究所；2.中国空间技术研究院载人航天总体部：北京100094）摘要：根据航天器表面测温的需要，研制了一种K型（NiCr-NiSi）薄膜热电偶。该型热电偶采用射频
2、磁控溅射技术在针型高温陶瓷基体上制备薄膜热电偶，其热电偶结点厚度为微米级，能够与航天器表面有效贴合，实现航天器表面的瞬态高温测量。通过物理试验验证，该型薄膜热电偶测量最高温度能够达到800℃，测量相对误差在±0.5%以内，满足返回式航天器表面高温的瞬态测温需求。关键词：航天器；表面测温；薄膜热电偶；瞬态温度测量中图分类号：TP216文献标志码：A文章编号：1673-1379(2017)04-0393-05DOI:10.3969/j.issn.1673-1379.2017.04.009Developmentofthin-filmthermocoupleform
3、easuringtransienthightemperatureonspacecraftsurfaces121111LIZhenwei,DONGJinglong,LIUChang,LIUZeyuan,ZHUXi,GULei(1.BeijingInstituteofSpacecraftEnvironmentEngineering;2.InstituteofMannedSystemEngineering,ChinaAcademyofSpaceTechnology:Beijing100094,China)Abstract:AK-typefilmthermocoup
4、leisdevelopedformeasuringthetemperatureonthespacecraftsurface.ThethermocouplefilmisfabricatedonahightemperatureceramicsubstratebytheRFmagnetronsputteringtechnology.Thethicknessofthethermocouplecontactsisinthemicrongrade.TheK-typefilmthermocouplecaneffectivelyfitthespacecraftsurface
5、andbeusedforhigh-temperaturetransientmeasurementonthespacecraftsurfaces.PhysicaltestverifiesthatthemeasuringtemperatureofthisK-typefilmthermocouplecanreachashighas800℃,andtherelativemeasurementerroriswithin±0.5%.Itcanwellfulfillthehigh-temperaturetransientmeasurementrequirementofre
6、coverablespacecrafts’surfaces.Keywords:spacecraft;surfacetemperaturemeasurement;thin-filmthermocouple;transienttemperaturemeasurement————————————————————————收稿日期：2017-06-01；修回日期：2017-07-28基金项目：装备发展部“十三五”装备预研领域基金重点项目（编号：6140923020301）引用格式：李振伟,董景龙,刘畅,等.航天器表面瞬态测温用薄膜热电偶的研制[J].航天器环境工程,2
7、017,34(4):393-397LIZW,DONGJL,LIUC,etal.Developmentofthin-filmthermocoupleformeasuringtransienthightemperatureonspacecraftsurfaces[J].SpacecraftEnvironmentEngineering,2017,34(4):393-397394航天器环境工程第34卷0引言势计算原理为TTES==()dTTS[()T−S()]dTT，(1)随着我国在深空探测、高超声速飞行器以及天AB∫∫TTABBA00地往返飞行器等领域的快速发展，
8、对航天器试件表式中：SAB(T)为薄膜热电偶的塞贝克
