半导体生产线的紧急订单调度问题研究

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1、摘要摘要紧急订单是酱遍存在于半导体生产企业的一种订单，和普通订单相比，紧急订单具有很高的全局优先级，并对常规订单的生产过程具有很大的影响。目前，针对紧急订单的调度和投料策略，尚未有学者展开大规模研究，仅有一些基于仿真的定性分析。而在工程上，企业应对紧急订单也多采用经验的方法。对紧急订单的生产过程进行优化问题，因而具有深刻的理论意义和广泛的应用前景。本文在总结了以往相关工作的基础上，从仿真实验开始，分析了紧急订单对半导体生产线生产过程造成的影响，提出了一组控制和优化策略，并就紧急订单在调度中的优化应用做了简单探讨。本文的主要工作和研究成果如下：一、对紧急订单引

2、入半导体生产线后的影响进行了实验仿真并对结果进行理论分析。二、对紧急订单的“紧急度”进行了形式化定义，提出修正定序(MR)调度策略，在全局上对各类订单进行调度。三，总结对比了各种瓶颈识别方法，并提出了一种动态瓶颈识别算法：指数动态瓶颈识别(EDBI)，并仿真验证之。四、提出基于约束理论(TOC)和投料稳定性理论，利用EDBI对紧急订单投料过程进行控制，提出1DC控制投料策略。五、结合得出的理论结果提出多Agent紧急订单调度框架。六、探讨了紧急订单在调度问题中可以起到的优化作用，利用紧急度的概念提出一种改进批处理设备的调度算法。关键词：紧急订单，紧急度，修正

3、定序，指数动态瓶颈识别，约束理论AbsiractABSTRACTInsemiconductorindustry,hotlotsareoftenintroducedintomanufacturingsystem．nchotlotsinsemiconductorwaferfabsystemsarewellknowntosignificantlyaffectthecycletimeandimpacttheworkinprocessofregularlots，duetothehighpriorityatallstageSofprocessing．However,th

4、ereisonlyfewstudiesforhotlotsanalysis，mostofthemonlygivesimulationinvestigations．Inrealplants，themethodologyofhotlotsschedulingisbasedonexperiences．Researchonhotlotsisveryimportantfortheproductionmanagementinsemiconductormanufacturingdomain．Thispaperdescribescomputationalexperiment

5、sfollowedbydiscussionontheimpactofhotlots．Somescheduleandreleasepolicyofhotlotsarepresentedlater,andfinallyadiscussionOntheapplicationofhotlotsinoptimizingcontrolisgiven．1hcachievementsofthisdissertationinclude：1．T0presentsomecomputationalexperimentsonhotlots,andanalyzetheresultoft

6、hesimulation．zAformaldefmifionof“hotgrade”isOven,andamodifiednnking舛R)schedulingpolicyispresentedwhichhasglobalinfluence011allkindsofproduct．3．ToI竹esentadynamicbottleneckidentificationulgofithm：EDBI．Thcsimulationprovetheefficiencyofthealgorithm．4．Basedonthetheoryofconstrains('lDC)a

7、ndtheoryofstability,thispaperpresentaTOCbasedreleasepolicytocontrolthereleaseprocessofhotlots．5．Amulti-Agentsystemisestablishedtohandletheschedulingofhotlots．6．Somefurtherdiscussionontheschedulingofbatchdeviceisgiven,usingtheconceptofhotgradeandMRpolicy．KeyWords：hotlots，hotgrade，mo

8、difiedranking，EDBI，theoryo