陶瓷压阻式压力传感器的研究及应用

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2、留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期问论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。(保密的论文在解密后遵守此规定)本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。本人签名：粒袅导师签名：fIHIMHHIIIIY2397190捅矍传感技术已和计算机技术、通讯技术成为当今电子信息技术的三大支柱，并成为发展最为迅速的技术学

3、科之一。作为信号检测、信息获取的关键和基础，传感技术日益受到世界范围内的高度重视。新型敏感材料和传感器的研究，己成为国内外高新技术研究的热点和前沿。陶瓷厚膜压力传感器是一种新型应变式压力传感器，利用厚膜电阻的压阻效应和力敏效应研制而成。其应变电阻为具有压阻效应的厚膜钌酸盐电阻，并采用厚膜工艺技术直接印刷、烧结在陶瓷弹性体上，实现压力检测。本文先从传感器的基本特性、厚膜工艺、厚膜压力传感器系统理论及在压力测量方面的应用进行深入的研究，阐述了陶瓷压阻式压力传感器的基本原理、工艺流程；分析现有产品的技术难点，给出一体式陶瓷厚膜压力传感器的

4、设计方案。本文的主要工作概括如下：l、给出了一体式陶瓷弹性膜片和新型厚膜丝网印刷版图设计方案，优化了传感器关键工艺环节；改变厚膜电阻激光修刻方案，加工制作了陶瓷厚膜压力传感器。2、改进方案，解决了陶瓷压力传感器的圆环形陶瓷基座与陶瓷弹性膜片粘接垂直相交连接处的圆周线开裂难点；惠斯通电桥不平衡影响零位信号输出的缺点；模拟信号处理电路无法满足传感器向小型化、智能化、高精度方向发展等技术难点。关键词：压力传感器厚膜印刷压阻效应激光调阻AbstractThesensortechn0109Yhasbecomeoneofthethreemain

5、stayOfelectron—informationtechnology，togetherwithcomputertechnologyandcommunicationtechnology,asarapidprogressingfield．Thesensortechnologyhasbeenattachedmuchimportancetofroma11overtheworld．forit'sthekeYandbaseofsignaldetectionandinfolrmationacquisition．Theresearchonnew

6、typesofsensitivematerialandsensorhasbecomethehotpotandthefront—edge．Ceramicthickfilmpressuresensorisanewtypeofstraingaugepressuresensor,whichmakesuseofthethickfilmresistanceandpressuresensitiveeffect．Thestrainresistancewithpiezoresistivethick．filmrutheniurnbasedresisto

7、rpasters．andprintedandsinteredonceramicelasticelementthroughthickfilmtechnology,realizethe●pressuredetection．．Thisarticlestudiesthebasiccharacteristicsofsensor,thickfilmtechnology,systematictheoriesofthickfilmpressuresensorandtheapplicationofpressuremeasure．Itstatesthe

8、basictheoryofceramichybridpressuresensorandproposeflow,analyzesthetechnicaldifficultiesofexistingproducts，andproposet