非晶硅薄膜太阳电池的研究

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1、河北工业大学硕士学位论文非晶硅薄膜太阳电池的研究姓名：郝国强申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：张存善;张德贤2003.3.1河北工业大学硕士学位论文非晶硅薄膜太阳电池的研究摘要能源危机与环境污染是人类正面临的重大挑战，开发新能源和可再生清洁能源是21世纪最具决定影响的技术领域之一。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的可再生清洁能源，对太阳能电池的研究与开发也变的日益重要。非晶硅薄膜太阳电池与晶硅太阳电池相比有如下优点，制作工艺简单；衬底温度低，耗材少，能沉积在廉价的衬底上，故成本低，能容易的应用集成工艺，进一步降低成本。因此，非晶硅薄膜太阳电池是一种很有发展前途的

2、太阳电池。得到了广泛的研究。本文主要利用分离室PECVD系统在玻璃衬底上沉积pin结构太阳电池，主要工作可总结如下：1)P层微晶结构的沉积；用uc．Si：H与传统所用的a．SiC：H分别做电池的P层，比较了二者的I．V特性，发现lIc．Si：H作为电池的P层有更大的优越性。2)i层材料的沉积及i层的厚度对电池性能参数Jsc,V。。，FF’n的影响。3)非晶硅太阳电池一致性及稳定性的研究。主要讨论了i层厚度及P层微晶对电池一致性的影响和i层厚度对稳定性的影响。4)玻璃衬底上倒向结构nip电池的沉积。关键词：太阳电池，非晶硅，微晶硅，一致性非晶硅太阳电池的研究THESTUDYoFTH

3、INFILMAMoRPHOUSSILICoNSOLARCELLSAbstractTheenergycrisisandpollutionofenvironmentisseriouschallengeforhumanbeing．Itisthemostcriticalandinfluentialtechnologyareas．Solarenergyisaregenerativeandcleanenergy．Theresearchofsolarcellsbecomesmoreandmoreimportant．Thethinfilma-Si：Hsolarcellscomparedwithc

4、rystalsiliconsolarcellshaveadvantages∞following：1、Thefabricationtechnologyofa-Si：Hsolarcellsissimple．2)Thelowdepositiontemperature，thelowcostofmaterialandthecheapsubstratemakethelowcostofa-Si：Hsolarcells．3)itiseasytoapplyintegratedtechnologyandthendecreasethecostofsolarcellsagain．Inthispaperw

5、edepositedsolarcellswithpinstructureonglasssubstratebyuseofseparatedPECVDsystem．Themainworkcanbesummedasfollowing：1)TheuC-Si：Hp-typelayerhasbeendepositedandthecomparisonofI-Vcharacteristicsbetweenthecellsmadewithuc—Si：Haswindowlayerandthecellsmadewitha-SiC：Haswindowlayershowsthatthecellswithu

6、C-Si：Haswindowlayerhavebetterperformance．2)Thei-typefilmlayerhasbeendepositedandweinvestigatedtheinfluenceofi-typelayerthicknesstothesolarcellsparameter：Jsc，Voc，FF，r1．3)Theuniformityandthestabilityofa-Si：Hsolarcellshavebeenstudiedandwediscussedtheinfluenceofi-typethicknessandp-typeuC-Si：Htoth

7、euniformityofa-Si：Hsolarcells．Thenwealsostudiedtheinfluenceofi-typethicknesstothestabilityofa—Si：Hsolarcells．4)ThereversesolarcellswithnipstructureonglasssubstratehavebeendepositedKEYWORDS：solarcells，amorphoussilicon，microcrystallinesilicon，u