《ECVD教程》PPT课件

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1、ＰＥＣＶＤ工序培训教程2007年9月第一部分：安全知识氨气泄露紧急处理方案硅烷泄露紧急处理方案一.氨气1.健康危害：无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险，因此进入这样的区域前必须排空。进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器。大规模泄漏时需要全身防护服,并应随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。2.中毒症状：眼接触：暴露在氨气中会对眼睛造成中度到重度的刺激。吸入：氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状可能包括灼伤感、咳嗽、喘息加重、气短、头痛及恶心。过度暴露会影响

2、中枢神经系统并会造成痉挛和失去知觉。上呼吸道易受到伤害并导致气管炎(封闭气路)。声带在高浓度下特别容易受到腐蚀，下呼吸道伤害会造成水肿和出血。暴露在5000ppm下5分钟会造成死亡。皮肤接触：接触蒸汽会造成刺激和灼伤。接触液体会造成组织冻伤并伴有碱性灼伤和脱水。皮肤长期或多次暴露会引起皮炎。3.急救措施：眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。吸入：将人员移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理皮肤接触：用大量的水冲洗，立即脱掉被污染的衣服。如皮肤接触液体，脱掉被污染的衣服，用大量温水冲洗几分钟，并立即进行药物处理。4.个

3、人防护设备：通风：应有良好的自然通风或强制排空，保证气体浓度低于暴露极限。呼吸系统的保护：当进入大规模泄漏区或浓度不明的区域时可用自给式呼吸器或接有正压气管的全面罩式呼吸器并随身携带紧急逃生用的钢瓶。对眼的保护:当搬运钢瓶时要佩戴安全眼镜。当连接、断开气路或打开钢瓶阀时需要防护眼镜和面罩。对皮肤的保护:当搬运钢瓶时要使用皮手套。当连接、断开钢瓶时需要橡胶或氯丁手套及化学防护服。当进入大规模泄漏区是需使用全身封闭防护服。紧急情况下需防火服和手套。其它防护设备：当搬运钢瓶时建议穿安全鞋，现场需设有安全淋浴及洗眼器。5．消防措施：立即撤离受影响的区域。移走所有可能燃烧的物品

4、并进行最大限度的防爆通风。如有可能,切断气源。隔离所有泄漏的钢瓶。若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，则需与供应商联系。若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要安全地泄压并用惰性气体吹扫。氨气可以用喷淋水来控制。然而，所用的水可能会被污染。所有救护人员都应有良好的保护。二.硅烷1．危害性：硅甲烷为——无色、具窒息性的气味、会与空气反应、有窒息性影响。与空气接触会自燃，燃烧时会释放出未结晶的二氧化硅浓烟。主要的健康危害是此气体在空气中会自燃且有潜在的剧烈燃烧危害。高温或火焰时，若钢瓶的释压装置故障可能引起钢瓶爆炸。若硅甲烷在高压下释放或在高流速下，可能与空气形成

5、混合物而发生延迟性的爆炸。2．中毒症状：⑴吸入：吸入高浓度的硅烷会引起头痛、头昏、昏睡、刺激上呼吸道。硅甲烷会刺激粘膜和呼吸系统。高度曝露在硅烷会引起肺炎和肺水肿。⑵眼睛接触：硅甲烷会刺激眼睛，硅甲烷会分解产生二氧化硅。眼睛接触到微粒的二氧化硅会感到刺激。⑶皮肤接触：硅甲烷会刺激皮肤，硅甲烷会分解产生二氧化硅。皮肤接触到微粒的二氧化硅会感到刺激。3．急救措施：⑴吸入：施救前先做好自身的防护措施以确保自己的安全。如穿戴适当防护装备。将患者移至新鲜空气处，立即请人帮忙打电话求救，若意识不清将患者置于复苏姿势，不可喂食，检查呼吸维持呼吸道畅通，若呼吸停止由受过训练之人员施以

6、人工呼吸，若心跳停止立即施以心肺复苏术，或给予100%氧气，对患者保温，令其舒适，并不时监控其呼吸与脉搏，立即送医并告知医疗人员曾接触此物质。⑵皮肤接触:脱掉受污染衣服，用大量水清洗患部，继续用水冲洗至少15分钟，若患者被灼伤，则以冷水冲灼伤局部，保持其凉爽，若患者之颜面、颈部、头部或胸部被灼伤，则需假设其呼吸道已灼伤，必须由合格医师紧急救助，结束时用干净衣物覆盖受伤部位，立即送医。⑶眼睛接触：使用温水缓慢冲洗15分钟，并不时撑开眼皮冲洗，隐形眼镜必先除去或用水冲出来，用湿润棉棒将眼睛任何可移除之异物移除，冲洗完毕用干净纱布覆盖，并以纸胶布固定，立即送医。4．消防措施

7、：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿一般消防防护服。切断气源，喷洒雾状水稀释，抽排（室内）或强力通风（室外）。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。易燃易爆，在空气中能发生爆炸性燃烧，员工应迅速远离火场，如有条件下穿戴防护服，自给式正压呼吸器，切断气源，不可扑灭明火，如条件不允许，尽量用水冷却气瓶，防止气瓶爆炸5．个人防护设备：⑴呼吸防护：更换钢瓶时可使用正压，全罩式供气呼吸器具，紧急泄漏时，高浓度时吸入会