大范围激光直写系统的激光扫描研究

《大范围激光直写系统的激光扫描研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、B皇墨壁垒!竺塾Q望L星墨璺￡S￡垒坠坠i塾g＆X墨!曼堡Ql!丛星坠垒￡2星：苎￡垒!星L垒璺星￡坠i盥￡!型￡i蔓i望2苎Y璺!星坐ByChunningHaoADissertationSubmittedtoGraduateUniversityofChineseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofEngineeringShanghaiInstituteofOpticsandFineMec

2、hanics(SIOM)June，2012中国科学院上海光学精密机搠研究所硕士学位论文IIIIrIllll[1llllIIlUIIUIY2255048研究生入学时间2009．092012年06月01日大范围激光直写系统的激光扫描研究，郝春宁独创性声明本人声明所呈的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果．据我所知．除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得中国科学院上海光学精密机械研究所或其他教育机构的学位或证：岛而使用过的材料。与

3、我一同工作的同志对本研究工作所做的任何贡献，均已在论文中做了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名：签字日期：伽解堙，月．叫同学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国科学院上海光学精密机械研究所有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电予文件。允许论文被查阅和借阅。本人授权中国科学院上海光学精密机械研究所可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文

4、作者签名：兹串宪哆．签字开期‰≯以月一日，)勺I■。J1指导教师虢孑辎，签字日期：々斫埤罗月训日学位论文作者毕业去向：垡发拉盎直阻公司工作单位：垡发技苤互眍公圄电话：15墨Ql墨33墨2受通信地址：上篷壹滥壅堑区堑坌援壁2蛰曼邮编：电子邮件地址：．．丛Q曼迎l@监些：堕盟；蛔篮坠延鹜iQ娈：丝：垒娶201206中国科学院上海光学精密机械研究所硕士研究生毕业论文／2012大范围激光直写系统的激光扫描研究郝春宁指导老师：徐文东研究员摘要20世纪80年代发展起来的“纳米科技”引发了科技的深刻变革，给人们的工

5、作和生活带来了翻天覆地的变化。“纳米科技”发展的源动力来自于微纳加T技术的进步。激光直写技术作为一种先进的微纳加T技术，已经获得广泛的应用，并引发了各研究单位对于此项技术研究的热潮。Pl前，国际上激光直写技术发展较为迅速，与其他技术相结合，在医学、消费电子、汽车电子、微光学、材料学等领域不断开疆拓土，而国内激光直写技术发展相对较晚，工艺水平较国际领先水平有相当的差距。随着国内各相关产业的发展，急需开展对激光直写技术原理、工艺、材料及其应用的研究，提升激光直写技术水平，满足国家相关产业的发展需求。本论文

6、的目的在于开发一套激光直写光刻系统，提供一种研究平台，为进行大范围、高速度、高精度的激光直写提供支持。木论文首先介绍了各种微纳加工技术的特点，比较了激光直写技术同其它微纳加上技术的4i同和优势，回顾了激光直写技术的国内外研究进展，分析了该技术的演进路线和发展趋势，阐述了本论文的研究目的和内容，然后介绍了系统原理、架构与设计，系统的分析了本系统及其各组成部分设计的原理和思路，最后设计实验验证本系统的实际效果。本系统采用的主要技术有振镜扫描技术、自动聚焦技术、共聚焦成像技术大范围激光直写系统的激光扫描研究

7、，郝舂宁和微纳拼接技术，本论文简要的分析了各种技术，着重分析了跟激光扫描相关的振镜扫描技术和自动聚焦技术，及其相关的控制系统，其中振镜扫描为激光扫描的主体，自动聚焦技术为保证。关键词：激光直写、振镜扫描、自动聚焦、纳米技术中国科学院上海光学精密机械研究所硕士研究生毕业论文／2012ResearchonLaserScanningSystemoftheLarge-ScaleLaserDirectWritingSystemChunningHaoDirectedby：ProfessorWendongXuAbs

8、tractThedevelopmentof”nanotechnology”，whichwasoriginatedin1980s，hastriggeredprofoundchangesintechnologyandbroughtgreatrevolutionsinpeople’Sworkandlife．Thesourcesforthedevelopmentof”nanotechnology”areadvancesinnanofabricationtechn