太阳能集热板镀膜及其设备

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1、第?@卷第?期E@<0?@-I@0?真空E#FGGHABBC年D月JG<0ABBC太阳能集热板镀膜及其设备魏海波)-孙清"-张晶宇/-王庆伟/()0沈阳新北方玻璃有限公司-辽宁沈阳))#)/+1"0沈阳医科大学高等职业技术学院-辽宁沈阳))##"+1/0沈阳真空技术研究所-辽宁沈阳))##’",摘要!介绍了采用真空磁控溅射的方法在太阳能集热板上镀选择性吸收膜-从而使平板太阳能热水器的热效率得到提高1集热板的2并介绍了镀膜设备的性能.34#0*)5#0*+167#0).关键词!真空镀膜1太阳能集热板1磁控溅射中图分类号!89

2、’/文献标识码!9文章编号!)##"%#/""("##+,#’%##)#%#/:;<=>?@AB;CDEFG;H=ECBACIBE?JC@<@DKL@MLH

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6、U)V&/%T,d&S%TV2r4#0*)5#0*+S[’d.T))T,T%a67#0)08*d/d&-V&[S[(dV-%*d(VS%T[d0bT/.d[%T)S+)V’d)(&TUd’01EK2@MIN!,S(bb.(VS%T[1-+S%%/+S%)V+S&(V++d(%V&)1.S[d%&V[)/b%%d&T[太阳能是一种取之不尽用之不竭的能源.直接辐射-就应该想办法降低受热物体吸收表面的发射利用太阳能是开发新能源的主要途径之一-是一项率6.因此-为了最大的热能效益-就应该提高物体节省可燃性能源3发展工农业生

7、产3改善人民生活具表面的吸收率2-降低发射率6-即296比增大0一个有深远意义的措施.在外国太阳能应用相当普及和有效的太阳集热器应当充分吸收入射的辐射而向环广泛-虽然我国对太阳能利用的研究起步较晚-但几境给出低的热辐射.年来得到突飞猛进的发展-取得可喜的成效.太阳能;吸收表面与集热器效率热水器在我国应用比较广泛-但如何提高太阳能热水器的热性能-是值得我们研究的方向.平板式集热器的瞬时效率为<一个实际的受热物体表面同黑体表面一样会不z{>z#<42r=>~t(",断地向外发射热辐射.辐射的能量4满足斯蒂芬%"式中2吸热板表面

8、的吸收率玻尔兹曼定律r664465z’(),=66盖板玻璃的透过率式中z66物体表面的绝对温度z{66吸热板表面的绝对温度566斯蒂芬%玻尔兹常数-z#66环境温度%8’""66太阳的辐射强度54$0&&7)#O9:.666发射率~t66集热器的损失系数从式(),可以看出-如果想减小受热物体表面热其中~t与环境温度3风速3日照强度以及吸热收稿日期!"##$%#&%#’万方数据作者简介!魏海波()*+$%,-男-黑龙江省海伦市人-硕士-高级工程师.第d期魏海波"等e太阳能集热板镀膜及其设备c77c表面的发射率!有关"当环境温

9、度#风速#日照强度这种技术没有环境污染"它的特点是具有溅射速率等固定不变时"$与发射率成增函数关系即高#基体温度低#薄膜与基体结合牢固并可在大面积%$%&’(!)"故式(*)可以改写成上得到均匀的涂层601/0240直流平面或圆柱磁控溅射工艺能以较高的沉积+&,-./’(!)&,-./’(!)(5)33速率而获得大面积均匀的薄膜"通过单质膜溅射可由于热辐射损失与绝对温度的四次方成正比"以很方便的制备纯金属或合金薄膜6在溅射过程中而对流和传导热损失仅与温度一次方成正比"随着充入反应气体(如H等)称之为反应溅*#I*#J*K*

10、温度的升高辐射热损失越大6太阳选择性吸收涂层射6金属阴极的反应溅射"可以控制反应气体流量"是具有高的太阳吸收比和低的发射比的表面"因此"制备出若干种化学成分与物理性质有差异的薄膜"要采用选择性吸收涂层6通过单质溅射和反应溅射"能沉积出优质的太阳能目前国内市场太阳能集热板制备选择性涂层的吸收层与低发射率的