某后道封装测试洁净厂房的净化空调设计

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1、医药工程设计杂志　Pharmaceutical&EngineeringDesign2002,23(5)·29·洁净空调设计某后道封装测试洁净厂房的净化空调设计上海电子工程设计研究院(200135)周　亮摘要　介绍某后道封装洁净厂房的净化空调设计,阐明了新风机组、干冷盘管及风机过滤器单元(FFU)组合使用的技术特点,并指出风机过滤器单元在国内应用的广阔前景。关键词　干冷盘管　风机过滤器单元(FFU)　新风机组1　概况221058m,洁净区面积合计4433m。洁净室层高3m。本工程是一个集成电路封装测试厂房,位于上各车间温湿度及净化要求见表1。海张江高

2、科技园区内。原材料晶圆片经切割、塑封,表1　净化车间参数表引脚切筋、打弯、测试等工序之后成品出厂。综合厂温度湿度净化级别正压值房间名称2(℃)(%)(013μm)(Pa)房共2层,建筑面积22000m。一层前道车间(EOL)、后道车间(FOL)、测试车间(TEST)设置在前道23±250±510000级15建筑物中间,四周由环形密闭走廊包围。其他辅助后道及测试23±250±5100000级10车间、仓库、办公区及动力站房等设于车间四周,二层为二期发展部分,空调机房设在二层。一层前道2　净化空调设计2车间(EOL)洁净区面积2250m,后道车间(FO

3、L)洁净化车间空调方式采用新风机组、干冷盘管及2净区面积1125m,测试车间(TEST)洁净区面积风机过滤器单元(FFU)组合形式。如图1所示。　　其中新风机组功能段如下:新风段-初中效过FFU主要由风机、电机、高效过滤器(或超高效过滤滤段(G4、F7)-加热段-一级表冷段-二级表冷挡器)构成,安装于净化厂房吊顶之上,具有耗电量低,水段-送风机段-气水混合加湿段-微穿孔消声段且通过增加FFU数量便于洁净室升级等特点,在国-高效过滤器段(H13)。内净化工程中的应用也越来越广泛。从表2中可知211　风机过滤器单元(FFU)的运用其节能特点。风机过滤器

4、单元在国际上已得到广泛应用。正如表2所示,采用FFU的能耗仅为采用循环©1995-2006TsinghuaTongfangOpticalDiscCo.,Ltd.Allrightsreserved.·30·医药工程设计杂志　Pharmaceutical&EngineeringDesign2002,23(5)表2　风机过滤器单元和循环风空调器能耗比较表负荷的主要由工艺设备发热及照明散热构成。且该项　　目风机过滤器单元循环风空调器厂为24小时运转,散热量比较稳定。经计算,前道3循环风量(m/h)366200366200车间工艺设备散热及照明散热形成的冷负

5、荷合计为数　　量2246QN=568kW,可认为该厂房全年需供冷。由于人员3单台设备风量(m/h)163561033较少、室内无散湿,热湿比近似无穷大,为等湿冷却单台设备耗电量(kW)01322过程。对室内温湿度干扰最大的因素为新风,因此合计耗电量(kW)6712132只要稳定新风送风状态,即可确保室内温湿度。在本工程中,将新风全年处理至含湿量817g/kg的状风空调器能耗的50%。因为循环风空调器尚要克态点。室内全部回风经过设在洁净厂房柱子四周、服净化厂房及空调机组之间风管阻力及空调器本身吊顶以上的干冷盘管,由回风温度控制干冷盘管的的阻力。另外,

6、循环风空调器的送回风管还要占用冷却量,即可确保洁净厂房温湿度满足要求。的建筑高度(送回风管占用建筑高度一般在2米以对于干冷盘管水系统的控制有2种方案,见图上)。2和图3。212　空气洁净处理及房间压力控制前道1万级设计换气次数30次,送风量3216000m/h。后道及测试车间10万级设计换气次33数20次,送风量分别为72000m/h及78200m/h。新风经新风机组冷热湿及初、中、高效处理后,送入洁净厂房吊顶以上静压箱与经干冷盘管冷却后的回风混合,经FFU的高效过滤器过滤后,送入洁净区。回风经设在吊顶上的回风口回至静压箱。新风机组三级过滤效率分别

7、为:初效G4,中效F7,高效H13、MPPS效率99195%。FFU高效过滤器效率为H14、MPPS效率991995%。各车间风量详见表3。表3　净化车间风量表送风量新风量工艺排风量车间名称(m3(m3(m3/h)/h)/h)前道2160001500012792后道7200035002124测试7820040003000因洁净室排风量随工艺排风量变化而变化,故洁净室采用变新风量作为正压控制手段。洁净区正压控制方法如下:在新风管上设置变风量控制器,根据室内外压差值通过变风量控制器改变送入房间新风量以保持室内设定正压值。同时,在新风总管上设置静压传感器

8、,新风机组送风机设置变频器,当新由I-d图,室内温度23℃、含湿量817g/kg、其风量改变时,新风管内静压改变,静压传感