SO小型元件引脚共面性在线检测装置的设计与实现_谭刚林

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1、第37卷，增刊红外与激光工程2008年4月Vol.37SupplementInfraredandLaserEngineeringApr.2008SO小型元件引脚共面性在线检测装置的设计与实现谭刚林，张腾飞，杨小民，萧泽新（桂林电子科技大学光机电一体化研究所，广西桂林541004）摘要：介绍了SO型元件引脚共面性检测装置的系统设计，阐述了机器视觉检测系统的原理，应用图像处理与识别技术，实现了对SO型元件引脚共面性的非接触无损检测。把引脚端面与基准面放置在同一平面上，得到引脚端面与基准面清晰的像，测量出两者之间的距离，以此为据判断引脚共面性是否合格。关键词：共面性；检测；SO型元件引

2、脚中图分类号：TB96文献标识码：A文章编号：1007-2276(2008)增(几何量)-0309-03On-linedetectiondevicedesignandimplementationforSO-typecomponents’pinofcoplanarityTANGang-lin，ZHANGTeng-fei，YANGXiao-min，XIAOZe-xin（IntegrationofOpticalandElectricalMachineryResearchInstitute,GuilinUniversityofElectronicTechnology,Guilin5410

3、04,China）Abstract:ThesystemdesignofdetectingSO-typecomponents’pinofcoplanarityisintroduced.Thedesignofmachinevisiondetectsystemisdiscussed.NondestructivetestingSO-typecomponents’pinofcoplanarityisrealizedbyusingimageprocessingtechnologyandtargetidentificationTechnology.Faceofpinsandbaselevela

4、replacedonasameplane.Aclearimageaboutfaceofpinsandbaselevelisobtained.Thedistancebetweenthemismeasuredout.Onthisbasis,qualificationofpin’scoplanarityisjudged.Keywords:Coplanarity；Detection；SO-typecomponents’pin0引言生产线消费不起。（2）投影仪。优点是精度高；缺点是离线、靠肉眼判读、检测速度慢，只适用于企业计随着电子信息产业的迅速发展，电子元器件（特量部门的事后“把关”。（

5、3）借助一些检具，通过人工别是IC）越来越趋向于微型化。SO（SmallOutline）检测。最大的缺点是无法避免原理误差和人疲劳后的型元件由于外形尺寸小，在进行表面贴装时，对引脚主观随意性。的共面性提出了很高的要求，一般要求引脚的高度差中小型IC生产线和SMT生产线呼唤经济实用的不应大于引脚厚度的2倍。以一个引脚厚度为0.05mmIC共面性在线检测设备。经过预先研究，发现引入的SO型IC为例，引脚的高度差不应大于0.1mm。检测基准平面与引脚进行距离比较，通过光电读出其现行的IC引脚共面性检测方法有：（1）基于机比较值，由此判断SO型引脚的共面性是否超差，从器视觉的检测设备。优

6、点是在线、快速、智能、精度而能实施在线检测。基于这一思路，设计制造了科研高；缺点是设备昂贵（十多万至几十万不等）。中小样机，实践证明能对≤10对引脚的SO小型IC元件收稿日期：2008-03-31作者简介：谭刚林（1978-）男，湖南邵阳人，硕士生。主要从事光机电一体化、嵌入式系统研究。Email:tanganglin@sina.com.cn导师简介：萧泽新（1943-）男，广西梧州人，所长，教授、博士生导师。主要从事工程光学、光机电一体化研究。Email:gjd@guet.edu.cn310红外与激光工程：高精度几何量光电测量与校准技术第37卷的引脚共面性进行检测。同时，为进一

7、步研发≤202.3图像处理对引脚的SO中型IC元件共面性检测的商品机奠定（1）灰度转化：彩色图像包含许多系统不需要了坚实的基础。的信息，而这些信息反而会带来一些处理上的不便。系统采用色彩系统变换法在读取图像后首先进行灰1光电检测原理度转化。由RGB与YIQ色彩系统变换公式可知，当R=G=B时，即得到相应的灰度值为：芯片引脚端面与基准平面处在同一物平面内，在Y=0.299*R+0.587*G+0.114*B光源的照射下经过光学系统成像在CCD的光敏靶面（2）图像二值化：图像灰度处理