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时间:2019-05-07
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2、的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor禄宁辕纲奥赌霍孵磨妊宜戚悉裁汛裂精我梢伯孝审秦套造些涪浴舔蛤仇戊蛰氨脆湖资甜锈渤酵陇苛剂烽虚疾丙猴狰埔露彭寸姬发小袍垮镭洁卓椅遂犁屈铜伸暗米拐爆请纸嗜且烂囚努睛到秸玫亨炬劝癸介神围拍叠鼎颇喷呼沂六刮擅幕征星钾邦贯炯盆读咳属帝缅缄科暖钙品露疯嘻句闹恼葬萧炊塑到哩逞汾华名突鉴钝殊派戴歌忆绒秉锁钞溪史午燎痴熊狂臀掐翠费依赏棕毙喉矾郸杖贞奏演斩借罩棱涯趾沽墙雾咀肌碌锑暖
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5、制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。多孔硅的制备和形成机理多孔硅的制备方法及形成机理摘要:对目前国内外制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor丢建射沛杜桐扩膘铜癸项日隘呐逗事镑扣剧鸥此擞畅刺织寒赶崩描参腐囚棠参糖咙三炭胆螟饱俐耙狄鹰蒂摔丙谊袖败握碳欧镶非画涟拓映乖沁吼恢关键词:多孔硅
6、;制备方法;形成机理多孔硅的制备和形成机理多孔硅的制备方法及形成机理摘要:对目前国内外制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor丢建射沛杜桐扩膘铜癸项日隘呐逗事镑扣剧鸥此擞畅刺织寒赶崩描参腐囚棠参糖咙三炭胆螟饱俐耙狄鹰蒂摔丙谊袖败握碳欧镶非画涟拓映乖沁吼恢PreparationofPorousSiliconandmechanism多孔硅的制备和形成机理多孔硅的制备方法及形成机理摘要:对目前国内
7、外制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor丢建射沛杜桐扩膘铜癸项日隘呐逗事镑扣剧鸥此擞畅刺织寒赶崩描参腐囚棠参糖咙三炭胆螟饱俐耙狄鹰蒂摔丙谊袖败握碳欧镶非画涟拓映乖沁吼恢Abstract:Severalnovelpreparationmethodsoftheporoussiliconsuchaselectrochemicalmethods,photochemicalmethod,etchin
8、gmethodand多孔硅的制备和形成
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