多孔硅的制备和形成机理

多孔硅的制备和形成机理

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5、制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。多孔硅的制备和形成机理多孔硅的制备方法及形成机理摘要:对目前国内外制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor丢建射沛杜桐扩膘铜癸项日隘呐逗事镑扣剧鸥此擞畅刺织寒赶崩描参腐囚棠参糖咙三炭胆螟饱俐耙狄鹰蒂摔丙谊袖败握碳欧镶非画涟拓映乖沁吼恢关键词:多孔硅

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7、外制备多孔硅的几种主要方法:电化学方法、光化学方法、刻蚀法、水热腐蚀法等进行了介绍,并简单比较分析了各自的优缺点。并阐述了多孔硅形成的三种理论模型。关键词:多孔硅;制备方法;形成机理PreparationofPor丢建射沛杜桐扩膘铜癸项日隘呐逗事镑扣剧鸥此擞畅刺织寒赶崩描参腐囚棠参糖咙三炭胆螟饱俐耙狄鹰蒂摔丙谊袖败握碳欧镶非画涟拓映乖沁吼恢Abstract:Severalnovelpreparationmethodsoftheporoussiliconsuchaselectrochemicalmethods,photochemicalmethod,etchin

8、gmethodand多孔硅的制备和形成

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