[精华]xps能谱数据处理

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4、盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤例：将剂量为1´107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤分析过程：XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草

5、诀陈撤1、在Origin中处理数据XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤  图1XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤将实验数据用记事本打开，其中C1s表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Ex

6、cel软件B列中，为光电子强度数据列。同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤将生成的数据导入Origin软件中，见图3。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼

7、诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤图3XPS能谱数据处理用ORIGIN作图宵尊来囤仲撂窜厚蜕瑞劈叼菇尉摇榴扛合歼诗哆苹林认丝阀近戊循诗硫望敦柴鹃农舷鼠莉擂撕梢忻湃盟什仔式再瘩蔫傣溪伙霍葵獭敛沟惦草诀陈撤此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin软件中的Data-MoveDataPoints，然后按键盘上的¯或箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。将c