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1、西安工程大学本科毕业设计（论文）毕业设计（论文）题目：超低频振动测量装置学院：电子信息学院专业班级：测控技术与仪器06级1班指导教师：许卫星职称：讲师学生姓名：叶远峥学号：4060302010638西安工程大学本科毕业设计（论文）摘要本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加速度传感器在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理把被测的加速度转换为电容器的电容量变化，将加速度的变化转变为电压值。使传感器的灵敏度、非线性、测量范围等性能得到很大的提高，使其在地震、建筑、交通、航空等各领域得到广泛应用。
配因子.传感器的检
2、测。 绝对振动是指相对于惯性空间，没有静止参考点(即基准)的振动，如海上船舶的颠簸、空中飞机的披动、高层建筑顶部的晃动及地震波动等。超低频是指其频率在1Hz左右及其以下的振动。相对于静止参照系的超低频振动的测量方法很多，技术也较成熟。而相对于惯性空间，没有静止参考点的超低频绝对振动的测量，尤其是其频率在1Hz及其以下的超低频绝对
3、振动的测量，仍是工程测试领域的难题之一。这是因为振动频率低，测振传感器的机械固有频率难以做到足够低，致使传感器在测量超低频绝对振动时，其输出信号完全“淹投”在噪声中难以提取。例如一个具有高通特性的固有频率为5Hz的传感器，在测量0.5Hz的超低频绝对振动时，其输出信号只有满幅度的1%。因此借助电子技术，对测振传感器的传递函数进行电路模拟补偿、校正和计算机辅助优化设计，从而展宽其频响，实现对超低频绝对振动的测量，在工程测试领域有其重大的实用价值。关键词：加速度，差容式，力平衡，传感器 38西安工程大学本科毕业设计（论文）ABSTRACTThispaper
4、introducesakindofforcebalanceprincipleofaccelerationsensordesignmethod.Poorlettypeforcebalanceinthetraditionalmechanicalaccelerationsensorbasedonthesensor,usingdifferentialcapacitorstructure,theprincipleofbeingmeasuredbyfeedbacktheaccelerationofconvertingcapacitorcapactancechang
5、e,willchangeintotheaccelerationofthevoltage.Sensorsensitivityandnonlinearpropertiessuchasmeasuringrange,havegreatlyimprovedintheearthquake,construction,transportation,aerospace,etcwidelyappliedfields.Absoluterelativetotheinertiavibrationreferstothespace,nostaticreferencepoints(n
6、amely)ofvibration,suchasMarineairturbulence,theairplane,high-risebuildingatthetopoftherockandtheseismicwave,etc.Ultralowfrequencyreferstotheleftand1Hzfrequencyinthefollowingvibration.Comparedwithstaticreferenceofultralowfrequencyvibrationmeasurementmethod,technologyandmanymorema
7、ture.Andrelativetotheinertiaofspace,notstaticreferencepointofultralowfrequencyvibrationmeasurementofabsolute,especiallyinthefrequencyofultralowfrequency1Hzunderitsabsolutevibrationmeasurement,isstilloneoftheengineeringproblems.Becauseofthelowfrequencyvibrationofmechanicalvibrati
8、onsensor,thefrequenciesofhardenough,sensormeasu
