超精密测量技术在高精尖装备中的应用现状调查

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1、超精密测量技术在高精尖装备中的应用现状调查学校：哈尔滨工业大学调查组成员：安丽军庄嫣媛王佳铭指导教师：胡鹏程第17页共17页摘要超精密测量是一门集光学、电子、传感、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，它是信息科学发展的源头，为众多的高精尖装备提供微纳米级的物理量和工程量信息，因此超精密测量技术是高精尖装备发展的关键，代表着一个国家科技实力的先进水平。通过本次调查活动，我们小组成员初步掌握了超精密测量技术的基本内容和技术特点、国际发展趋势，并能够明确指出其在高精尖装备中的具体应用，加深了对超精密测量技术的理解，对本

2、专业的前景和未来的发展方向有了比较明确的认识。关键词：超精密测量技术；仪器科学与工程；高端装备制造第17页共17页目录摘要……………………………………………………………………………………21问题的提出……………………………………………………………………41.1调查背景………………………………………………………………………41.2调查方式………………………………………………………………………41.3调查意义………………………………………………………………………52超精密测量技术………………………………………………………………

3、52.1组成………………………………………………………………………………52．1．1微力接触式测量技术……………………………………………52．1．2振动扫描式测量技术……………………………………………72．2特点…………………………………………………………………………83高精尖装备与超精密测量………………………………………………93．1我国高精尖装备发展现状…………………………………………93．1．1光刻机现状…………………………………………………………103．1．1．1行业现状………………………………………………………1

4、03．1．1．2国际国内现状…………………………………………………113．2超精密测量技术在高精尖装备中的应用……………………123．2．1超精密测量在光刻机中的应用……………………………124小结与建议……………………………………………………………………144．1小结…………………………………………………………………………144．2意见与建议………………………………………………………………14参考文献……………………………………………………………………………15第17页共17页1问题的提出1．1调查背景 仪器仪表是信息产

5、业的三大重要组成部分(测试技术、通信技术、微电子技术)之一，是信息工业的源头，是一个国家科技实力的综合反映，在工业发展中具有前导地位。仪器仪表集机、电、计算机、信息处理等多学科于一体，是多学科相互交叉、渗透、结合的综合学科。其中以超精密测量技术所代表的测量技术在国防、航天、航空、航海、铁道、机械、轻工、化工、电子、电力、电信、钢铁、石油、矿山、煤炭、地质、勘侧等领域有极其广泛的应用，在国民经济建设中占有重要的地位。在发展高端装备制造业的背景下，提高我国在超精密测量方面的科研实力和技术水平，成为不得不解决的迫切问题。因此我们

6、小组结合本专业的科研方向和哈尔滨工业大学的特色，希望通过本次调查，了解我国在超精密测量技术在高端装备制造业特别是高精尖装备（以光刻机和超精密车床为例）中的应用现状，并且能够加强对本专业的认识。1．2调查方式我们小组结合寒假寒假小组成员分散各地，无法进行统一调查活动的实际，借助网络，通过访问各大仪器公司网站、阅读仪器科学和超精密测量方面的相关文献、发放调查问卷、采访超精密测量专业相关方向的硕士研究生等形式，对该问题进行了较为深入的调查研究。第17页共17页1．3调查意义本次社会实践调查，充分地锻炼了我们搜集、处理信息的能力，

7、在团队调查过程中，小组成员分工明确，集思广益，极大的增强了我们的团队协作意识和团队精；通过本次调查，我们小组成员对本专业有了更加明确的认识，意识到我们国家在高端装备制造业的不足及精密测量特别是超精密测量对我国国民经济发展和国防现代化的极其重要的作用；同时我们更加感受到了作为新一代哈工大人身上的千钧重担，极大地增强了我们身为哈工大人的自豪感和责任感，坚定了我们投身国家现代化建设、为早日实现中华民族复兴的伟大中国梦奋斗终生的崇高信念！2超精密测量技术2．1组成超精密测量技术与仪器工程研究中包含的几个热点问题主要有:二维和三维微

8、小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些技术的研究代表了目前超精密测量技术和仪器工程研究的发展趋势,也是超精密测量技术领域的重要组成部分和技术难点。我们小组对其中的微力接触式测量技术和振动扫描