毕业设计（论文）-多晶硅太阳能电池制备工艺

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1、多晶硅太阳能电池制备工艺XINYUUNIVERSITY毕业设计（论文）（2013届）题目多晶硅太阳能电池制备工艺二级学院新能源科学与工程学院专业光伏材料加工及其应用班级10级光伏材料（一）班学号学生姓名指导教师多晶硅太阳能电池制备工艺目录摘要……………………………………………………………………………1Abstract………………………………………………………………………2第1章绪论…………………………………………………………………3第2章多晶硅太阳电池制备工艺…………………………………………52.1一次清洗工序……………………………………………………………52.1.1一次清洗工序的原理…………

2、……………………………………52.1.2一次清洗工序的工艺参数…………………………………………52.2扩散工序…………………………………………………………………62.2.1扩散原理……………………………………………………………62.2.2扩散工艺……………………………………………………………72.3湿法刻蚀的工序及其原理………………………………………………82.4等离子体增强化学气相沉积工序………………………………………102.4.1等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的原理…………………102.5丝网印刷工序及其工作原理……………………………………………112.6测试分选工序及太阳能测试仪的原

3、理………………………………132.7小结………………………………………………………………………15第3章多晶硅太阳能电池行业展望………………………………………16参考文献(References)………………………………………………………17致谢……………………………………………………………………………18多晶硅太阳能电池制备工艺多晶硅太阳能电池制备工艺摘要长期以来随着能源危机的日益突出，传统能源已不能满足能源结构的需求，然而光伏发电技术被认为是解决能源衰竭和环境危机的主要途径。而多晶硅太阳能电池份额占据光伏市场的绝大部分，并呈现逐年上升趋势，有极大的发展潜力。本文在阐明了国内外光伏市场以及光伏

4、技术发展趋势的基础上，对多晶硅太阳能电池的结构及其特性简述，同时对其制备工艺：一次清洗→扩散→湿法刻蚀去背结→PECVD(等离子体增强化学气相沉积)→丝网印刷→烧结→测试分选做简要介绍。关键词：多晶硅太阳能电池；光伏技术；光伏工艺；17多晶硅太阳能电池制备工艺PreparationtechnologyofpolycrystallinesiliconsolarcellAbstractForalongtimeastheenergycrisisincreasinglyprominent,thetraditionalenergycannotsatisfytheneedsoftheenergystruc

5、ture,however,photovoltaicpowergenerationtechnologyisregardedasthemainwaytosolvethecrisisofenergyexhaustionandenvironmentandpolycrystallinesiliconsolarcelloccupiesmostpartsofphotovoltaicmarketshare,andpresentstherisingtrendyearbyyear,hasgreatdevelopmentpotential。ThispaperillustratesthedomesticPVmarke

6、ttrendsandthedevelopmentofphotovoltaictechnologyfirstly,andmakesabriefintroductiononthepreparationprocessofpolycrystallinesiliconsolarcellsecondly:cleaning→diffusion→wetetching→PECVD→screenprinting→sintering→testingandsorting.Keywords:polycrystallinesiliconsolarcell;photovoltaictechnology;photovolta

7、icprocess;17多晶硅太阳能电池制备工艺第1章绪论随着经济全球化贸易国际化的发展，传统能源煤、石油、天然气等已不再是世界能源市场占有率扩张最快的，相反，新型可再生能源核能发电、水力发电、风能发电、生物质能发电，而光伏行业经历了从航天到地面应用的巨大变化，太阳能发电正飞速增加其市场份额，以求缓解能源危机和环境问题。鉴于各种新型能源发电的弊端，相比较之下人们普遍认为太阳能发电具备广阔的发展前景