基于ltcc技术的ka波段铁氧体移相器设计研究

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1、朵击糾故＊資ＵＮＩＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮ硕壬学位沦文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳ■－＾＼Ｖ／＇＼／ｓｓｅ■＾＾论支题目基于ＬＴＣＣ技术的Ｋａ波段铁氧化移相器设汁妍究学科专业材料科学与ＩＩ：程学号２０１３２１０３０６１９化者姓名赵元沛指导教师贾利军教授独创性声明本人声明所呈巧的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加标注和致谢的地方夕

2、ｈ，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我＾同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名＝击赛日期Ｉ砰：如居年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁蟲，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可臥采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文

3、在解密后应遵守此规定）、Ｓ作者签名：导师签名：￣女支可日期；年Ｓ月９日分类号密级UDC学位论文基于LTCC技术的Ka波段铁氧体移相器设计研究（题名和副题名）赵元沛（作者姓名）指导教师贾利军教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士学科专业材料科学与工程提交论文日期2016.3.18论文答辩日期2016.5.18学位授予单位和日期电子科技大学2016年6月27日答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。RESEARCHONKABANDFERRITEPHASESHIFTERBASEONLTCCTECHNOLOGY

4、AMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor：MaterialsScienceandEngineeringAuthor：ZhaoYuanpeiAdvisor：Prof.JiaLijunSchool：SchoolofMicroelectronicandSolid-stateElectronics摘要摘要作为相控阵雷达的核心组件，移相器的性能和体积直接关系到相控阵雷达性能的优劣。铁氧体移相器因其相移量大、插入损耗小等优点一向被广泛应用于相控阵雷达中。然而随着

5、微波组件小型化、集成化的发展趋势，铁氧体移相器的体积已成为制约其发展的关键问题。LTCC技术的出现，为铁氧体移相器的小型化和集成化提供了一条有效的解决之道。将LTCC技术与铁氧体器件相结合，具有极其重要的发展意义。本文中我们主要进行了针对具有高剩磁比和高居里温度的LiZn铁氧体材料的低温烧结研究和基于LTCC技术的铁氧体移相器设计。首先，通过改进配方和制备工艺，在900℃烧结温度下制得一种高饱和磁化强度且一定范围可调、高剩磁比（>0.83），低矫顽力（114.64A/m），低铁磁共振线宽（155Oe）的可适用于LTCC工艺的LiZn铁氧体旋磁材料；其次，结合LTC

6、C工艺步骤进行了实验研究，成功实现在该材料在LTCC技术下的应用；最后，采用耦合传输线结构仿真设计了两种Ka波段铁氧体移相器，其中微带线结构移相器在30~31GHz内插损小于2.5dB，驻波比小于2，相移量可达280°，带状线结构在32~34GHz内插损小于0.4dB，驻波比小于1.5，相移量在32.8~33.4GHz内可达328°。关键词：铁氧体移相器LTCC低温烧结耦合传输线ⅠIABSTRACTABSTRACTPhasedarrayradar'sperformancequitelydependsonthevolumeandperformanceofphases

7、hifterwhichiscorecomponentofphasedarrayradar.Duetoitslargephaseshift,lowinsertionloss,etc.Ferritephaseshifterhasbeenwidelyusedinphasedarrayradar.However,withthetrendofminiaturizationandintegrationofmicrowavecomponents,thevolumeofferritephaseshifterhasbecomethekeyissuerestrictingitsdev

8、elopm