基于狭缝波导的新型带宽可调谐微环谐振器的设计

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1、硕士学位论文论文题目：基于狭缝波导的新型带宽可调谐微环谐振器的设计作者姓名邹雨指导教师乐孜纯教授企业导师陆春校教授级高级工程师学科专业光学工程（专业学位）所在学院理学院提交日期2016年10月17日渐江工业大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师的指导下，独立进行研究工。作所取得的研究成果除文中已经加Ｗ标注引用的内容外，本论文不包含其他个人或集体己经发表或撰写过的研究成果，也不含为获得浙江工业大学或其它教育。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体机构的学位证书而使用过的材料，均已在文中Ｗ明确方式标明。本人承担本

2、声明的法律责任。＇作■／作者签名：去曲日期；之。月ｊ日ｆ学位论文版披使用授化书、本学位论文作者完全了解学校有关保留巧用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权浙江工业大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于１、保密□，在年解密后适用本授权书。２、不保密ｂ／＂＂（请在｛＾上相应方框内打Ｖ）之月■巧曰期／，作者签名；都：又年ｉ日导师签名日期：年＼

3、日浙江工业大学硕士学位论文基于狭缝波导的新型带宽可调谐微环谐振器的设计摘要随着集成光学技术的发展，超紧凑型带宽可调谐微光子器件正发挥着越来越重要的作用。光在基于绝缘衬底上的硅（Silicon-On-Insulator）制作的高折射率差介质波导上传输，其损耗低，弯曲半径小，这使得基于该高折射率差介质波导制作的微光子器件性能良好并且能够高密度集成。微环谐振器（Micro-ringresonator，MMR）是一种多功能型组件，应用范围广泛，如光调制器、波分复用滤波器、波长转换器以及光开关等。本文深入地研究了微环谐振器的各种物理特性，以狭缝波导（SlotWa

4、veguide）理论为器件设计的理论基础，通过优化器件结构，最后实现带宽可调谐功能和器件小型化的目标。本文的主要工作包括：1)对微环谐振器的物理特性进行了深入地分析，尤其是它对光波长的敏感特性。2)对狭缝波导理论进行了深入地研究，建立了用于一般性多狭缝波导的平板波导物理模型，并深入分析和讨论了狭缝波导的特性。3)最后基于高折射率差狭缝波导提出了一种新型的带宽可调谐微环谐振器，并分析了该微环谐振器对不同光波模式的谐振效果。实现了带宽可调谐和器件小型化的目标。关键字：集成光学，微环谐振器，狭缝波导，微光子器件I浙江工业大学硕士学位论文THEDESIGNOFBA

5、NDWIDTH-TUNABLEMICRO-RINGRESONATERBASEDONSLOTWAVEGUIDEABSTRACTWiththedevelopmentofintegratedoptics,theultra-compactbandwidthtunablephotonicdevicesareplayinganincreasinglyrole.Thehigh-index-contrastinsilicon-on-insulator(SOI)waveguidesallowssmallbendingradiuswithlowpropagationlosse

6、s,whichleadstohighdensityintegrationofmicro-photonicdevices.Micro-ringresonator（MMR）isregardedasaversatilecomponentinawiderangeofapplicationssuchasmodulator,wavelengthdivisionmultiplexingfilter,wavelengthconverterandswitchetc.Inthispaper,thephysicalcharacteristicofmicro-ringresona

7、torisdeeplystudied.Besides,onthebasisofthetheoreticalanalysisofslotwaveguide,bandwidthtunablefunctionalityandminiaturizationgoalscanbeachieved.Themainworkincludes:II浙江工业大学硕士学位论文Firstly,deeplyanalysismicro-ringresonator’svariousphysicalcharacteristics,especiallyitswavelengthsensiti

8、vitycharacteristics.Secondly,thet