li基ltcc介电陶瓷材料及微波器件研究

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1、全击种成＊著ｏＦＣＨＩＮＡＵＮＩＣＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤｔｅｃｈｎｌｏｇｙＯＩＶＥＲＳＩＴＹＯｆＥＬＥＣＴＲＯＮ硕ｉ学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳ产＂／、‘―八＇＇０＼ｊ：．卢．：心ｈ…巧＂论文题目Ｌｉ基ＬＴＣＣ介电陶瓷材料及微波器件研究学科专业电子信息材料与元器件２０１３２１０３０６２９学号＿＿作者姓名彭文半指肆教师苏俾教授＊独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特

2、别加标注和致谢的地方夕ｈ论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我…同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。＂；＾Ｊ作者签名：１日期年＾月日＾＾论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘Ｊ允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可ｌｉ？将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可臥采用

3、影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（作保者密签的学位论文在解密后应遵守此规定）名；ｉ导师签名：著＾争呼／（曰期：年＾月／免■分类号密级注1UDC学位论文Li基LTCC介电陶瓷材料及微波器件研究（题名和副题名）彭文平（作者姓名）指导教师苏桦教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士学科专业电子信息材料与元器件提交论文日期2016.03.18论文答辩日期2016.05.19学位授予单位和日期电子科技大学2016年6月答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号

4、。Li-BASEDLTCCDIELECTRICCERAMICOFMATERIALANDMICROWAVEDEVICESRESEARCHAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectronicinformationmaterialsandcomponentsAuthor:WenPingPengSupervisor:Prof.HuaSuSchool:SchoolofMicroelectronicsandSolid-S

5、tateElectronics摘要摘要近年来，随着移动通信的高速发展，通信基站的需求和性能也不断提高。对于应用于通信基站的中高介陶瓷材料提供了新的机遇，中高介陶瓷对于微波器件小型化，集成化，低损耗化提供了方向。因此研究具有高度集成化，高度稳定性的LTCC陶瓷材料具有很强的现实意义。Li2ZnTi3O8是一种介电常数在25左右具有良好的微波介电性能，温度稳定性好的陶瓷，但是它的突出缺点是烧结温度过高，烧结温度为1200℃，为了让它应用于LTCC生产，必须降低其烧结温度，使其能在900℃左右烧结并不显著降低其微波性能。为了研究Li2Zn

6、Ti3O8在低温下的烧结特性和微波介电性能，本文采用了三种玻璃对其进行降烧，分别是LBSCA,BBSZ和BBZ。通过对不同掺杂量分析物相组成、微观结构和微波介电性能，确定性能最好的一组。Li2ZnTi3O8+xwt%LBSCA(x=0.5~2.5)，当x=1.5时,陶瓷在900℃烧结3小时表现出微波性能最好，其微3波性能为23，Qf39762(f8.010GHz)，3.59gcm，r13.75ppmC。运用上面同样的方法，分别用玻璃BBSZ和BBZ掺杂，进f一步分析其降烧作用，当x=0.5~2.0时，陶瓷材料呈

7、现不同的性能。分别为当掺杂x=0.5wt%BBSZ，陶瓷表现出最好的性能，其微波介电性能为25.1，r3Qf32475(f7.805GHz)，3.42gcm，f14.8ppmC。当掺杂x=0.5wt%BBZ，陶瓷表现出最好的性能，其微波介电性能为：20.01，r3Qf19673(f8.370GHz)，3.38gcm，f15.4ppmC。最后为了满足材料的谐振频率温度系数，采用TiO2和CaTiO3两种正温度系数进行调节，选用三组中性能最好的Li2ZnTi3O8+1.5wt%LBSCA在90

8、0℃下烧结。分别加入3.5wt%TiO2和2wt%CaTiO3，调节后其性能分别为：f2.8ppmC，Qf27854和3.2ppmC，Qf32048。f最后，基于自己开发的低损耗微波介质陶瓷材料Li2ZnTi3