试析基于ltcc内埋式元件设计与建模研究

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1、西安科技大学硕士学位论文基于LTCC内埋式元件设计与建模研究姓名：刘婧申请学位级别：硕士专业：检测技术与自动化装置指导教师：孙龙杰20080415论文题目：专业：硕士生：指导教师：基于LTCC内埋式元件设计与建模研究检测技术与自动化装置刘婧(签名)麴盘孙龙杰(签名)二纽垒垒摘要低温共烧陶瓷技术(LTCC)成长迅速已成为许多微电子封装领域的关键技术之一，利用低温共烧陶瓷技术制作的模块具有很多优异的性能：设计灵活性、可重新分配结构、紧密性、可靠性等，使得低温共烧陶瓷技术应用广泛，如医学检测微型化仪器，射频和微波通信模块等。近年来低温共烧陶瓷内埋式元件建模研究已经取得了

2、很多成果，但随着内埋式被动元件复杂度增加，低温共烧陶瓷技术建模工作难度加大，如何建立合适的等效电路模型并且通过模型库完成集成电路模块的电路设计是的主要研究方向，目前这方面的研究在国内还很少。论文首先探讨低温共烧陶瓷技术、工艺制程和内埋式被动元件的设计流程，并且针对低温共烧陶瓷制做过程比较分析电磁模拟与量测软件的具体作用。其次重点探讨建立修正T型等效电路模型的理论过程，通过仿真得到修正T型等效电路模型可预测电感元件的并联谐振点、串联谐振点、接地谐振点。电感结构的不同会导致其物理性能和电气参数的变化，论文以／t"等效电路为基础量测低温共烧陶瓷内埋式元件的性能，归类出低

3、温共烧陶瓷元件的结构与品质因数的关系，建立基本的低温共烧陶瓷元件模型资料库。最后利用内埋式元件资料库的建立经验，尝试在低温共烧陶瓷中进行初步的电路设计，架构出基于低温共烧陶瓷中的T原型带通滤波器，设计四种不同的带通滤波器。论文实现的基于LTCC的带通滤波器在信号检测和信号处理方面有很多优势，不仅此滤波器性能参数不易发生变化，而且所实现的功能模块尺寸微小，适用于医学检测仪器和通信检测模块。研究结果表明，本文实现的基于低温共烧陶瓷技术的带通滤波器，通带插入损耗和折返损耗皆能分别小于2dB及大于10dB，与商业化产品和类似应用文献报道作品中带通滤波器相比，设计尺寸微小化

4、。关键词：低温共烧陶瓷技术；内埋式元件；模型化；带通滤波器研究类型：应用研究Subjeet：TheResearchonDesigningandModelingofEmbeddedComponentsinLow—TemperatureCofiredCeramicTechnologySpecialty：DetectionTechnologyandAutomationEquipmentName：LiuJingInstructor：SunLongjieABSTRACT(Signature)LowTemperatureCofiredCeramictechnologydeve

5、lopedfastandbecameakeytechnologyofmanymicro-electronicsencapsulationfield．ThemodulebasedonLTCChasmanyexcellentfeaturessuchasdesignflexibility,reconfigurablestructure，compactness，reliabilityandSOon．Duetotheadvantagesmentioned，LTCChasbeenusedinmanyapplications，suchasmedicalminisizedetec

6、tinstruments，radiofrequencyandmicrowavemoduleandSOon．AgreatmanyofachievementshasbeenobtainedonthemodelingofembeddedcomponentsforLTCCinrecentyears，withthecomplexityofembeddedcomponents，theworkofmodelingbecomedifficult．Howtosetupappropriatemodelandfinishcircuitdesignaccordingtothemodell

7、ibraryisthemainresearchaspect，whilelittleresearchiSreported．ThethesisdiscussesaboutLTCC，manufactureanddesignflowofembeddedpassivesintheLTCCfirstly．ComparisonbetweenelectromagneticsimulationsandmeasurementsfunctionsintheflowofLTCC．Insecondpartwediscusstheoryandprocessofestablishingmodi

8、fied-