高性能太赫兹滤波器研究

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2、？．．，－论文题巨窩性能太赫兹滤波器硏究专业学位类别工程硕±ｒ学号２０１３２２０２０７２６：作者姓名郑中万指导教师胡江副教授—ｆ．非獨曝Ｓ？１雖＾＾■、嗦独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加标注和致谢的地方夕ｂ论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我

3、一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。：日；少／年日作者签名期月？乃／Ａ４寺卡论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使巧学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和技大借阅。本人授权电子科学可将学位论文的全■＊－？■．部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）ｆ＇：签：作者签名导名人师乃卡

4、８日；年＾日期月／分类号密级注1UDC学位论文高性能太赫兹滤波器研究（题名和副题名）郑中万（作者姓名）指导教师胡江副教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称电子与通信工程提交论文日期2016.04论文答辩日期2016.05.24学位授予单位和日期电子科技大学2016年6月答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。ResearchonHighperformanceTerahertzFilterAMasterThesisSubmittedtoUniversity

5、ofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:ZhengZhongwanSupervisor:AssociateProfessorHuJiangSchool:SchoolofElectronicEngineeringofUESTC摘要摘要太赫兹波由于其特殊的频段位置，具有很多毫米波和红外线所不具备的性质，从而使太赫兹技术在诸多方面具有十分重要的研究价值和广阔的应用前景，成为当前国内外许多科研机构的研究重点。太赫兹滤波器控制着整个系统中的某

6、处频率响应，在系统中具有关键作用。太赫兹滤波器工作性能的高低直接影响着整个电路系统的性能，因此，其高性能的研究受到更多的关注。本论文基于目前的设计和加工水平，制作出高性能的太赫兹滤波器。首先，对太赫兹波的定义、特点及其应用进行了概述，同时对太赫兹滤波器的历史以及国内外动态进行了回顾，并对MEMS的工艺现状进行了简单的介绍；其次，阐述了谐振腔的基本理论，在同一个频段上探讨了多种方案来实现高性能太赫兹波导滤波器，并结合目前国内先进的MEMS技术，成功制作出了高性能的太赫兹波导滤波器；最后，根据滤波器的基本理论以及双层弯曲热执行器的工作原

7、理，完成了双层弯曲热执行器的设计和加工版图以及基于双层弯曲热执行器的G波段内中心频率可调的波导滤波器的初值设定以及仿真优化。其主要研究工作和成果可以概括为：第一，基于硅基深反应离子刻蚀（DRIE）技术，成功设计并制作了频率大于0.6THz的高性能太赫兹波导滤波器。采用圆形谐振腔代替传统矩形谐振腔的膜孔感性窗耦合式波导滤波器，克服了耦合膜片在高频段过薄而实现困难的问题，基于此理论设计、加工并测试了两款太赫兹滤波器。同时利用矩形谐振腔中的双模理论，设计了一款性能更加优越的双模波导滤波器，并且也对该滤波器进行了加工测试。测试结果表明本文制

8、作的滤波器具有插损小（小于3dB）以及带外抑制好（大于20dB@10%中心频率）等优点。第二，基于PolyMUMPs（三层多晶硅表面微加工工艺）工艺完成了双层弯曲热执行器的仿真优化和加工制备版图，并且把该双层弯曲热执行器装配到E面膜片