聚合物波导光互连耦合器的设计

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1、４击如成＊著ＯＮＡＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＦＣＨＩ硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳ心乂／论文题目聚合物波导光互连禪合器的设计学科专业光学工程学号２０１３２１０１０１２７—作者姓名康世涛指导教师郑建成教授．．＇．．－？．－？？？：．，，：．．分类号密级＇ＵＤＣ＇学位论文聚合物波肆光互连稱合器的设计（题名和副题名）

2、康世涛（作者姓名）指导教师郑建成教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕ｄｒ学科专业光学工程提交论文日期论文答辩日期学位授予单位和日期电子科技大学方年＾月日答辩委员会主席评阅人注１：注明《国际十进分类法ＵＤＣ》的类号。ＤｅｓｉｇｎｏｆＰｏｌｙｍｅｒＷａｖｅｇｕｉｄｅＯｐｔｉｃａｌＩｎｔ；ｅｒｃｏｎｎｅｃ村ｏｎＣｏｕｌｅｒｐＡＭａｓｔ；ｅｒＴｈｅｓｉｓＳｕｂｍ化ｅｄ化ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｆＥｌｅｃｌ

3、ｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｏｆＣｈｉｎａｏｇｙＭａｏｒ：ＯｔｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎｊｐｇｇＡ山ｈｏｒ：ＳｈｋａｏＫａｎｇＡｄｖｉｓｏｒ：ＰｒｏｆｅｓｓｏｒＫｉｎＳｅｎｇＣｈｉａｎｇＳｃｈｏｏｌ：ＳｃｈｏｏｌｏｆｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＣ＆ＩＥｎｉｎｅｅｒｉｎｇｇ独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研巧工作。及取得的研究成果据我所知，除了文中特别加レッ标注和致谢的地

4、方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研巧成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料一。与我同工作的同志对本研巧所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。＊作者签名；东挺奔日期年４月＾日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被査阅和借阅。本人授权电子科技大学可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可采用影印、缩印或

5、扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应巧守此规定）ｒ＞作者签名导师签名；日期：《年分明日＾？摘要自古ｗ来，人类采用各种方式来传递信息。从古代的巧火通信、飞解传书到现代的电报、电话和计算机通信，人类对于信息的需求量越来越大。目前较短距离的通信（如芯片，电路板）是通过电互连来实现信息的传输，随着集成度的提高，电互连自身的限制越来越突出。它存在着信号串扰、时钟信号歪斜、电磁干扰、集成密度髙及功耗大等问题，这整问题使电互连技术成为限制系统性能的

6、重要瓶颈。在片与芯片之间的光互连技术则具有低损巧、高带宽、大容量、无串扰、抗电磁干扰等优点，很好地提高了传输速率和互连的可靠性，使光互连成为解决电互连问题的一个有效方法。本文主要针对印刷电路板（ＰｒｉｎｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔｂｏａｒｄＰＣＢ板内巧片与芯片之间的光，）互连进行研巧。首先从理论上分析光在平面波导和矩形波导中传输的过程并计算光在波导中传输模式。根据激发的模式来判断光在波导中传输的情况，进而测量传输损耗。接下来，在近年来光互连研巧成果的基础上，通过对己有的结构进行改进，

7、一一，提出种新的设计结构。并从下Ｈ个方面对该结构进斤了研巧第：矩形波导设计与制作。矩形波导通过掩膜版巧光显影工艺流程来实现，通过掩膜版的设计可待确控制波导的尺寸，对矩形波导的链行通光测试和波导损耗的计算，均。二。得到比较好的结果，满足通信中对损耗的要求第：斜面倾角的制作Ｗ及锥膜，相比于，本论文中采用的反射结构直接在矩形波导上实现１＾往的结构有很大改进这种方式使光的传输和反射都在波导上完成，减少了Ｗ往二者之间过渡产生的损耗，同时对斜面锥膜进行分析，研巧不同材料和不同膜厚对反射的影响。第

8、稱合器的设计。由于垂直巧振腔表面发射激光器（ＶｅｒｔｉｃａｌｃａｖｉｔｙｓｕｒｆｅｃｅｅｍｉｔｉｎｇｌａｓｅｒＶＣＳＥＬ与波导的距离会影响光锅合进波导中能虽的大小，也就是说会产生损，）一，这样就可耗，本论文的创新之处就是通过设计个商度可Ｗ控制的圆巧稱合器Ｗ巧整激光器和波导之间的距离，结合光互连中的结构，找到合适的距寓，使光互连装置设计简单又能减少损耗，对光互