基于plc的半导体分选机控制系统的设计与实现

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1、夺固許＾若术大赛ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡ工程硕±学位论文戀论文题目基子化ｃ的半导体分选机控制杀娩的设计与矣现作者姓名＾光学工程工程领域刘小务研巧员吴毅研巧巧Ｉ＾ｊｌｐ企业导师二〇－六年Ａ月完成时间——一—可選麵誦麵：，今ｉ裹某ｉｋ＼■＊’：‘ｔ与嘴’、，？苗八Ｖ、，中逸辦營我禾乂＃ｔ工程硕±学位论文參基于ＰＬＣ的半导体分选机控制系统的设计与实现

2、作者姓名：李俊工程领域；光学工程导师姓名；刘小勤研究员吴毅研究员—完成时间：二〇六年四月二十四日ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ，Ａｄｉｓｓｅｓｄｅｒｅｅ．ｉｌａｔｉｏｎｆｏｒＭａｓｔｅｒｇｏｆｅｎｉｎｅｅｒｉｎｇｇ＃ＤｅｓｉｇｎａｎｄｉｍｐｌｅｍｅｎｔａｔｉｏｎｏｆｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓｏｒｔｉｎｇｍａｃｈｉｎｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎＰＬＣ’ｍＡｕ化ｏｒｓ

3、Ｎａｅ；ＬｉＪｕｎＳｐｅｃｉａｌｉｔｙ：ｏｐｔｉｃａｌｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＳｕｅｒｖｉｓｏｒ：Ｐｒｏｆ．ＸｉａｏｉｎＬｉｕＰｒｏｆ．ＹｉＷｕｐｑＦｉｎｉｓｈｅｄｔｉｍｅ：Ｍａ２４２０１６ｙ，中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研巧工作所取得的成果Ｉ。除已特别加Ｕ标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人己经发表或撰写过的研究成果一。与我同王作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确的说明。。作者签名：签字日期：又

4、心知中国科学技术大学学位论文授权使用声明一作为申请学位的条件之，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可レッ将学位论文编入《中国学位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存一、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相致。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。？ｚｒ若开□保密（年）作者签名：：导师签名签字日期：的

5、泪如签字日期：钟矣媒摘要摘要化一可编程逻辑控制器（ＰｒｏｇｒａｍｍｌｅＬｏｉｃＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒ，简称ＰＬＣ）是种目前ｇ在工业控制领域有着相当广泛应用的可编程存储装置。随着我国半导体行业的快速发展，半导体产业己扩展至消费类电子，、新能源、汽车电子等领域在半导体的各应用领域中，半导体分选机的需求胚盛，但国内相关技术较为薄弱。鉴于国一内目前尚无具有自主知识产权的半导体分选机系统的状况，本文提出了种基于ＰＬＣ的智能分选机系统设计方案，完成并实现智能分选机系统的设计。一个闭环控制系统，

6、它由上位机智能分选机系统为、下位机、ＣＣＤ、伺服电机及其驱动器和各种机械联动部分构成，下位机为ＰＬＣ，。其中上位机是工控机二者做出指令使驱动器控制伺服电机实现高精度的位置拉制，从而对半导体芯片进行智能分选。硬件系统的。智能分选机系统包括相应的硬件和软件两个子系统Ｌ设计包括ＰＬＣ的选型、Ｉ／Ｏ模块的选型义及相关电气设备的选择，文章介绍了系统的总体设计思路及各个模块的接线问题。软件系统包括ＰＬＣ主控制程序和上位机ＰＣ界面程序。文章重点阐述了下位机ＰＬＣ主控制程序的编写，包括下位机，分别对分选机系统上料

7、部分程序的框架结构及设计思路、剥离部分、分选部，设计了各个部分的程序并给出了程序流程图分和下料部分进行了分析。详细介，给出了部分上料部分典型ＰＬＣ程序绍了各个部分的工艺流程。在完成智能分选机设计后，将ＰＬＣ程序导入下位机中开始联机调试。测试，结果显示；程序实现了预期目标，由于机械等方面的原因对程序做了相应的修改实现了半导体分选机的国产化一。经过段时间的对机器连续测试运行表明，该分选机控制系统设计正确合理，工作稳定性好。关键词：可编程控制器分选梯形图程序伺服电机ＩＡＢＳＴＲＡＣＴＡＢＳＴ

8、ＲＡＣＴＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＬｏｇｉｃＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒＰＬＣｉｓｎｏｗｕｓｅｄｉｎａｖｅｒｗｉｄｅ巧ｅｌｄｏｆ（）ｙｉｎｄｕｓｔｒｉａｌｃｏｎｔｒｏｌａｐｒｏｒａｍｍａｂｌｅｍｅｍｏｒｄｅｖｉｃｅ．Ａｓｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｉｎｄｕ