1064nm激光高反膜制备及损伤特性研究

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2、反射镜是激光系统中必不可少的光学元件，它的抗激光损伤能力严重影响着激光系统的使用寿命，制约着激光器向髙能量、大功率方向发展。为了使激光系统实现稳定的高能，必须对激光高反膜的损伤机理进行深入研究量输出，明确其激光损伤机制，设计并制备出性能优良的抗强激光高反膜－。本文Ｗ金属介质高反膜为研究对象，它具有结构简单、、反射率高、易于制备等优点。反射区域宽、机械性能稳定论文通过对薄膜激光损伤理论的分析，设计并采用热蒸发方法在Ｋ９玻璃基底上分别沉积了金属银（Ａｇ）和铅（Ａ１）膜，并在金属膜层上加介质保护膜。通过改变沉积过程－－。ｏｎｌ中基片的

3、温度，研究沉积温度对样片的光学性能和激光损伤性能的影响基于１的、ｓｄ：ＹＡＧ损伤测试方法散射光强和图像法损伤判定标准，采用脉宽为１０ｎ的１０６４ｍｎ调ＱＮ脉冲激光器，，对金属介质膜的损伤阐值和损伤形貌进行了测试为后续激光预处理提高高－反膜的损伤闽值奠定了基础。实验结果表明，金属银介质膜的抗激光损伤特性优于金属－ｎｍ铅介质膜。在最优的工艺参数下制备的金属银表面沉积９层介质保护膜时，它在１０６４２６－处的反射率峰值为９９．５７％．９１Ｊ／ｃｍ。，，激光损伤阔值为对金属介质膜进行激光预处理后其激光损伤阔值比未处理时提高了％％，薄膜的抗激

4、光损伤能力得到了明显的改善。研巧结果表明；基于薄膜的激光损伤理论设计激光高反膜的膜系，选择优良的抗激光损伤薄膜材料－，在合适的沉积温度下，制各得到的激光金属介质高反膜，其抗激光损伤一。特性有定的改善，对激光高反膜进行激光预处理后可大幅度提高薄膜的激光损伤阔值关键词－：光学薄膜；金属介质膜；激光损伤机理；激光预处理ＰｒｅａｒａｔｉｏｎａｎｄＤａｍａｅＣｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆ１０６４ｎｍＬａｓｅｒＨｉｈｐｇｇＢａｄｅＦｉｌｍＤｉｓｃｊｉｌｉｎｅ；ＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎｐｇｇＳ

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